[實用新型]一種中大尺寸藍寶石晶圓圖案化制程黃光涂布前清洗裝置

有效

• 申請號: 201420449768.2
• 申請日: 2014-08-11
• 公開（公告）號: CN204093787U
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 劉伯彥;王曉靁;劉崇志;鐘其龍
• 申請（專利權）人: 廈門潤晶光電有限公司
• 主分類號: B08B7/04
• 分類號: B08B7/04;B08B3/02;B08B3/08;B08B3/12;B08B1/00;H01L21/02
• 代理公司: 廈門市新華專利商標代理有限公司 35203
• 代理人: 李寧

1.一種藍寶石晶圓圖案化制程黃光涂布前清洗裝置，其特征在于：由電機、真空吸附臺、底部噴頭、頂部噴頭、側噴頭和刷頭組成，真空吸附臺安裝在電機的輸出端，底部噴頭安裝在真空吸附臺下方的側邊，頂部噴頭以可水平移動的方式安裝在真空吸附臺上方，側噴頭安裝在真空吸附臺上方的側邊，刷頭也以可水平移動的方式安裝在真空吸附臺上方。

2.如權利要求1所述的一種藍寶石晶圓圖案化制程黃光涂布前清洗裝置，其特征在于：頂部噴頭和刷頭安裝在機械手臂上，由機械手臂帶動在真空吸附臺上方水平移動。