[實用新型]一種中大尺寸藍寶石晶圓圖案化制程蝕刻后清洗裝置有效
| 申請號： | 201420449709.5 | 申請日： | 2014-08-11 |
| 公開（公告）號： | CN204093771U | 公開（公告）日： | 2015-01-14 |
| 發明（設計）人： | 劉伯彥;王曉靁;劉崇志;鐘其龍 | 申請（專利權）人： | 廈門潤晶光電有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 廈門市新華專利商標代理有限公司 35203 | 代理人： | 李寧 |
| 地址： | 361000 福建省廈門市火炬*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 尺寸 藍寶石 圖案 化制程 蝕刻 清洗 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種中大尺寸藍寶石晶圓圖案化制程蝕刻后清洗裝置，其特征在于：由電機、真空吸附臺和頂部噴頭組成，真空吸附臺安裝在電機的輸出端，真空吸附臺中形成通氣道，通氣道的下端接氣源，真空吸附臺上對應藍寶石晶圓的底面開設一圈出氣孔與通氣道的上端連接，頂部噴頭安裝在真空吸附臺上方。
2.如權利要求1所述的一種中大尺寸藍寶石晶圓圖案化制程蝕刻后清洗裝置，其特征在于：頂部噴頭包括兩個去離子水噴頭、SPM噴頭和cold?SC1噴頭。
3.如權利要求1所述的一種中大尺寸藍寶石晶圓圖案化制程蝕刻后清洗裝置，其特征在于：出氣孔由下至上呈向外傾斜狀。
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