[實用新型]廢氣處理設備的灑水裝置

有效

• 申請號: 201420442570.1
• 申請日: 2014-08-07
• 公開（公告）號: CN204017600U
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發明（設計）人: 李建霖
• 申請（專利權）人: 漢科系統科技股份有限公司
• 主分類號: B01D47/06
• 分類號: B01D47/06;B01D53/18
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍

技術領域

本實用新型涉及一種灑水裝置，特別是涉及一種廢氣處理設備的灑水裝置。

背景技術

半導體制程中所排出的廢氣，不但對人體以及環境有害，且具有可燃性、爆炸性，及腐蝕性，站在保護生活環境以及永續經營的立場而言，必須使所述廢氣經過特殊處理，消除廢氣的有害性，才得以排放至環境中。

針對于有害性的廢氣，濕式洗滌是在業界中普遍采用的方式，直接以清水洗滌廢氣，能去除廢氣中的粉塵以及溶于水的氣體成分。參閱圖1，為一現有的洗滌塔1，該洗滌塔1包含一塔體10、至少一設置于該塔體10中的過濾環11，及至少一配合該過濾環11而設置于該塔體10中的灑水單元12。該灑水單元12包括一伸置于該塔體10中的主管121，及一連接于該主管121，并能朝向該過濾環11灑水的噴頭122。

在該洗滌塔1中，待處理的廢氣是自該塔體10的下方往上輸送，該灑水單元12的噴頭122會朝向該過濾環11進行灑水，該過濾環11是以濾材所制成，各種不同的濾材能過濾廢氣中的特定成分。該灑水單元12除了以清水洗滌廢氣，去除廢氣中的粉塵及溶于水的氣體成分外，由該噴頭122灑至該過濾環11上的清水，也能配合濾材的特性，使得該過濾環11過濾廢氣的效果更好。

設置于該塔體10中的每一個灑水單元12，皆僅包括一個噴頭122，以單一的噴頭122進行灑水時，必須考慮到水壓以及該噴頭122所呈角度，才能確保該噴頭122的灑水范圍能涵蓋整個對應的過濾環11，以免影響到過濾廢氣的效果。然而，由于該噴頭122屬于耗材，必須定期購買規格品來更換，所購買的規格品并非配合既有設備訂做，因此時常會因水壓無法配合，或者規格品所呈角度的關系，使得該噴頭122的灑水范圍無法涵蓋預期范圍。另外，單一的噴頭122若是發生阻塞的情況時，即必須立即更換，否則會嚴重影響該洗滌塔1洗滌廢氣的功效，因此必須相當頻繁地安排定期檢修，在維護設備上也必須耗費大量人力成本。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種更換規格品后能確保預期的灑水范圍，且不需頻繁地安排定期檢修來進行維護的廢氣處理設備的灑水裝置。

用于處理廢氣的廢氣處理設備包含一用于洗滌廢氣的洗滌裝置。本實用新型廢氣處理設備的灑水裝置，適用于配合該洗滌裝置而安裝，并包含一連通水源且伸置于該洗滌裝置中的主管，及多個相間隔地在該洗滌裝置中與該主管連接，并能分別呈不同角度灑水的噴頭。呈多個角度灑水的所述噴頭，能彼此相互補足灑水的范圍，確保該灑水裝置能對預期的范圍完整進行灑水。

本實用新型的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。

較佳地，前述廢氣處理設備的灑水裝置，其中，該洗滌裝置包括一個圍繞出一個洗滌空間的洗滌本體，及多個沿該洗滌本體的延伸方向間隔設置于該洗滌空間中的過濾環，該洗滌裝置是配合多個灑水裝置，每一個灑水裝置是配合對應的過濾環而安裝。

較佳地，前述廢氣處理設備的灑水裝置，其中，每一個灑水裝置的所述噴頭分別呈不同角度朝向對應的過濾環。

較佳地，前述廢氣處理設備的灑水裝置，其中，定義一條自每一個灑水裝置的主管的軸心朝向對應的過濾環延伸的延伸線，所述噴頭朝向對應的過濾環的方向，是分別依序與該延伸線以順時針方向夾30度，及以逆時針方向夾30度。

較佳地，前述廢氣處理設備的灑水裝置，其中，每一個噴頭包括一個與該主管連接的連接部、一個與該連接部連接的擋止部，及一個自該擋止部一體向外螺旋延伸的螺旋部，該連接部、該擋止部，及該螺旋部共同圍繞出一個與該主管連通的噴水孔。

本實用新型的有益的效果在于：該灑水裝置的主管上連接有多個分別呈不同角度的噴頭，能彼此相互補足灑水的范圍，確保在更換規格品后也能對預期的范圍進行灑水，且當有噴頭損壞時，其余噴頭能彌補損壞的噴頭而維持正常的灑水范圍，不需立即更換損壞的噴頭，故不需頻繁地安排定期檢修來進行該灑水裝置的維護。

附圖說明

圖1是一示意圖，說明一現有的洗滌塔；

圖2是一示意圖，說明本實用新型廢氣處理設備的灑水裝置的一實施例；

圖3是一立體圖，說明該灑水裝置的組件組成；

圖4是一側視圖，說明該灑水裝置的一噴頭；

圖5是一示意圖，說明該灑水裝置的多個噴頭所呈角度。

具體實施方式

下面結合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明。