[實用新型]拋光頭

有效

• 申請號: 201420441962.6
• 申請日: 2014-08-07
• 公開（公告）號: CN204053765U
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發明（設計）人: 陳菊芳
• 申請（專利權）人: 陳菊芳
• 主分類號: B24B41/047
• 分類號: B24B41/047;H01L21/304
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及化學機械拋光技術領域，尤其是一種拋光頭。

背景技術

在對半導體晶圓等精密器件進行拋光加工時，化學機械拋光是一種最常用的加工方法。中國實用新型專利CN?101342681B公開了一種拋光頭，提高了拋光的均勻性。但是，這種結構對與拋光時產生的振動僅僅可以通過氣囊和水囊對中段頻幅的振動進行過濾緩沖，而對高頻和低頻的振動的過濾緩沖效果不佳。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種拋光頭，能夠改進現有技術的不足，進一步提高拋光頭旋轉時的穩定性。

為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案如下。

拋光頭，包括上蓋盤、中蓋盤和下蓋盤，上蓋盤連接有旋轉軸，下蓋盤連接有夾持器，所述上蓋盤和中蓋盤之間均勻設置有若干個連桿，連桿的上端鉸接于上蓋盤的中心，連桿的下端鉸接于中蓋盤的邊緣，連桿的上端與上蓋盤之間設置有橡膠緩沖墊，中蓋盤的邊緣設置有圓形夾片，連桿的下端鉸接于圓形夾片內；所述中蓋盤和下蓋盤之間設置有液壓緩沖層，液壓緩沖層的外側設置有硅膠外壁，液壓緩沖層內同心設置有第一緩沖環，第一緩沖環內設置有疊片層。

作為優選，所述旋轉軸兩側對稱設置有兩個弧形空心管，弧形空心管內設置有重球，重球與弧形空心管過盈配合。

作為優選，所述弧形空心管為橢圓弧，單個重球的重量占拋光頭總重量的20%～25%，弧形空心管在上蓋盤投影的長度為上蓋盤半徑的1.2倍～1.5倍。

作為優選，所述下蓋盤內環形設置有若干個通氣孔，通氣孔包括與下蓋盤底面相通的毛細管，毛細管的進口處設置有斜面，毛細管上方設置有敞口管，敞口管的敞口端與下蓋盤的側壁相通。

作為優選，所述液壓緩沖層設置有第二緩沖環，第二緩沖環與第一緩沖環相通，第二緩沖環內設置有網格層。

作為優選，所述第一緩沖環和第二緩沖環之間設置有球形緩沖帶。

作為優選，所述圓形夾片內側設置有支桿，連桿通過扭簧鉸接在支桿上，圓形夾片內側設置有波浪狀的橡膠起伏層，連桿與橡膠起伏層過盈配合。

作為優選，所述夾持器包括保持環，保持環內側設置有臺階，臺階頂部設置有氣囊環，臺階的中心設置有負壓吸盤，負壓吸盤內設置有若干個硬質支持環。

采用上述技術方案所帶來的有益效果在于：本實用新型在現有技術的基礎上，增加連桿結構對大振幅低頻率的振動進行過濾緩沖，增加液壓緩沖層對小振幅高頻率的振動進行過濾緩沖。通過兩個結構的共同配合作用，是本實用新型對各種頻率和振幅的振動都可以進行充分的過濾和緩沖，進一步提高了拋光頭工作過程中的平穩性。重球在拋光頭旋轉過程中依靠離心力的作用在弧形空心管內移動，重球對旋轉軸施加水平方向的平衡離心力，減小了旋轉軸在旋轉過程中水平方向的相對位移。通氣孔在旋轉過程中產生向上流動的氣流，使整個拋光頭受到向上的提升力，減小了旋轉軸在旋轉過程中豎直方向的相對位移。夾持器通過負壓吸盤對加工物料進行夾持，與此同時臺階和硬質支持環對加工物料進行全方位支持，提高了物料拋光過程中對物料夾持的穩定性。

附圖說明

圖1是本實用新型一個具體實施方式的示意圖。

圖2是本實用新型一個具體實施方式中圓形夾片內部的示意圖。

圖3是本實用新型一個具體實施方式中通氣孔的示意圖。

圖4是本實用新型一個具體實施方式中夾持器的俯視圖。

圖中：1、上蓋盤；2、中蓋盤；3、下蓋盤、4、旋轉軸、5、夾持器；6、連桿；7、橡膠緩沖墊；8、圓形夾片；9、液壓緩沖層；10、硅膠外壁；11、第一緩沖環；12、疊片層；13、弧形空心管；14、重球；15、通氣孔；16、毛細管；17、斜面；18、敞口管；19、第二緩沖環；20、網格層；21、球形緩沖帶；22、支桿；23、扭簧；24、橡膠起伏層；25、保持環；26、臺階；27、負壓吸盤；28、硬質支持環。

具體實施方式

參照圖1-4，本具體實施方式包括上蓋盤1、中蓋盤2和下蓋盤3，上蓋盤1連接有旋轉軸4，下蓋盤3連接有夾持器5，所述上蓋盤1和中蓋盤2之間均勻設置有若干個連桿6，連桿6的上端鉸接于上蓋盤1的中心，連桿6的下端鉸接于中蓋盤2的邊緣，連桿6的上端與上蓋盤1之間設置有橡膠緩沖墊7，中蓋盤2的邊緣設置有圓形夾片8，連桿6的下端鉸接于圓形夾片8內；所述中蓋盤2和下蓋盤3之間設置有液壓緩沖層9，液壓緩沖層9的外側設置有硅膠外壁10，液壓緩沖層9內同心設置有第一緩沖環11，第一緩沖環11內設置有疊片層12。