[實(shí)用新型]連續(xù)性處理的板式水冷電極組等離子體表面處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420434987.3
• 申請日: 2014-08-04
• 公開（公告）號(hào): CN204271037U
• 公開（公告）日: 2015-04-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 溫貽芳;蔡高遠(yuǎn);薛迎春;丁琳;王紅衛(wèi);周紅英;徐黎
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州工業(yè)職業(yè)技術(shù)學(xué)院
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32
• 代理公司: 南京眾聯(lián)專利代理有限公司 32206
• 代理人: 呂書桁

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種等離子體表面處理設(shè)備，尤其涉及一種適用對多種不同類型材料進(jìn)行表面處理的等離子體裝置。

背景技術(shù)

等離子體表面處理技術(shù)是指利用等離子體中包含大量的電子，離子及自由基等活性粒子，這些活性粒子碰撞到被處理物體的表面，會(huì)發(fā)生相應(yīng)的物理或化學(xué)反應(yīng)，使材料表面的性質(zhì)發(fā)生變化或是賦予新的功能，以達(dá)到其處理目的，滿足實(shí)際應(yīng)用的需要，是制備新材料的重要方法。等離子體表面處理技術(shù)具有節(jié)能環(huán)保的特點(diǎn)，在新材料領(lǐng)域有著廣泛的用途和市場。等離子體表面處理裝置是實(shí)現(xiàn)等離子體表面處理技術(shù)的基本條件和必備基礎(chǔ)。

然后，現(xiàn)有市售的等離子體處理設(shè)備的發(fā)展相對較為落后，且均是針對某種形狀的樣品而制造的單一產(chǎn)品。在對不同類型樣品進(jìn)行表面等離子體處理的過程中，往往需要廠家備齊面向各種樣品的各種等離子體處理設(shè)備，成本長期難以得到控制。

發(fā)明內(nèi)容

考慮上述現(xiàn)有等離子體表面處理裝置技術(shù)上的不足與需求，本實(shí)用新型旨在提出一種連續(xù)性處理的板式水冷電極組等離子體表面處理裝置，解決此類設(shè)備通用型的問題。

本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)上述第一個(gè)目的的技術(shù)解決方案為：連續(xù)性處理的板式水冷電極組等離子體表面處理裝置，其特征在于：所述裝置具有平行相隔一段距離而設(shè)的兩塊立板和垂直設(shè)于兩塊立板之間且相互平行成組的若干塊電極板，所述立板固接有夾具板和對應(yīng)電極板數(shù)量的若干組絕緣板，所述電極板兩側(cè)邊緣插接定位于絕緣板，所述立板在相對電極板縱向的上、下兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)輥且相對電極板組垂向的兩側(cè)分別安裝放料輥和收料輥，放料輥、導(dǎo)輥、收料輥構(gòu)成卷材脈沖形通過電極板組的支撐路徑，所述夾具板設(shè)有對應(yīng)電極板之間供板材定位的嵌槽。

進(jìn)一步地，所述電極板表面平鋪設(shè)有水冷管，水冷管兩端安裝絕緣套且穿出立板外聯(lián)水冷器。

進(jìn)一步地，所述電極板為三塊成組，相對電極板縱向的上側(cè)設(shè)有四根導(dǎo)輥、下側(cè)設(shè)有兩根導(dǎo)輥。

進(jìn)一步地，所述電機(jī)板為四塊成組，相對電極板縱向的上側(cè)設(shè)有四根導(dǎo)輥、下側(cè)設(shè)有三根導(dǎo)輥。

進(jìn)一步地，所述導(dǎo)輥與嵌槽在電極板縱向上相錯(cuò)位。

進(jìn)一步地，所述導(dǎo)輥與嵌槽在電極板縱向上對齊，且嵌槽一側(cè)設(shè)有用于板材滑入的導(dǎo)向坡面。

進(jìn)一步地，所述電極板具有若干種幅寬規(guī)格，任一幅寬規(guī)格的電極板替換式插接定位于絕緣板。

本實(shí)用新型等離子體表面處理裝置的研制與應(yīng)用，較之于現(xiàn)有技術(shù)具有以下多方面突出的優(yōu)點(diǎn)：一者處理結(jié)構(gòu)功能集成程度高，可實(shí)現(xiàn)處理卷材與板材的自由轉(zhuǎn)換；應(yīng)用范圍廣，而且使用效率高，節(jié)約了資源，降低了生產(chǎn)成本；二者該裝置采用水冷附件，工作環(huán)境溫度較低，避免了一些材質(zhì)不耐高溫不宜處理的難題；再者該裝置升級(jí)空間較大，基于該裝置的基本結(jié)構(gòu)，在真空腔增設(shè)一進(jìn)氣口，即可對材料進(jìn)行活化或接枝處理；又或是增大電極板的幅寬便可處理不同寬度的卷材和板材，拓寬了裝置的應(yīng)用靈活性。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型等離子體表面處理裝置實(shí)施例一的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型等離子體表面處理裝置實(shí)施例一的徑向截面示意圖。

圖3是本實(shí)用新型等離子體表面處理裝置實(shí)施例二的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本實(shí)用新型等離子體表面處理裝置實(shí)施例三的徑向截面示意圖。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型為一種連續(xù)性處理的板式水冷電極組等離子體表面處理裝置，旨在解決可分別處理卷材、板材的難題，實(shí)現(xiàn)處理卷材與板材的自由轉(zhuǎn)換，提高設(shè)備的利用率，降低了企業(yè)生產(chǎn)成本；且該裝置采用水冷結(jié)構(gòu)，設(shè)備工作完成后無需空冷即可繼續(xù)操作，大大提高了設(shè)備的工作效率；并且可以為因溫度過高而不適宜處理的某些材質(zhì)提供了可行性，拓寬了處理材質(zhì)的多樣性。

下面從本實(shí)用新型的核心結(jié)構(gòu)特征來了解本創(chuàng)作的創(chuàng)新設(shè)計(jì)，如圖1至圖4所示，該板式水冷電極組等離子體表面處理裝置具有平行相隔一段距離而設(shè)的兩塊立板1和若干塊電極板，該些電極板垂直設(shè)于兩塊立板1之間且相互平行成組。該立板1固接有夾具板11和對應(yīng)電極板數(shù)量的若干組絕緣板12，電極板兩側(cè)邊緣插接定位于絕緣板之中（類似于內(nèi)存裝接結(jié)構(gòu)），該立板1在相對電極板縱向的上、下兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)輥且相對電極板組垂向的兩側(cè)分別安裝放料輥和收料輥，而且該放料輥4、導(dǎo)輥、收料輥5構(gòu)成卷材脈沖形通過電極板組的支撐路徑，而夾具板11設(shè)有對應(yīng)電極板之間供板材定位的嵌槽111。以此賦予裝置同時(shí)適用于卷材和板材可選處理的多用性。