[實用新型]一種MEMS麥克風有效
| 申請號： | 201420430458.6 | 申請日： | 2014-07-31 |
| 公開（公告）號： | CN204031451U | 公開（公告）日： | 2014-12-17 |
| 發明（設計）人： | 蔡孟錦 | 申請（專利權）人： | 歌爾聲學股份有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 王寶筠 |
| 地址： | 261031 山東省濰*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 mems 麥克風 | ||
1.一種MEMS麥克風，其特征在于，包括：
基底，所述基底設置有貫穿所述基底的聲腔；
第一絕緣層，所述第一絕緣層設置在所述基底正面，且位于所述聲腔四周；
背極，所述背極設置在所述第一絕緣層表面，且覆蓋與所述聲腔相對的區域；
第二絕緣層，所述第二絕緣層設置在所述背極與所述第一絕緣層相對區域的表面；
振膜，所述振膜設置在所述第二絕緣層表面，且覆蓋所述背極與所述聲腔相對的區域，所述振膜與所述背極不接觸；
其中，所述振膜包括：加強筋區域以及包圍所述加強筋區域的紋膜區域；所述加強筋區域設置與所述聲腔徑向平行的加強筋；所述紋膜區域設置有多個間隔分布的環狀紋膜凹槽。
2.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述振膜的背面與所述環狀紋膜凹槽相對的區域設置有朝向所述聲腔一側的凸起結構，所述凸起結構與所述背極之間具有間隙。
3.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，還包括：
貫穿所述背極的聲孔。
4.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，還包括：
懸梁，所述懸梁設置在所述振膜正面，且位于所述振膜與所述第二絕緣層相對區域。
5.根據權利要求1-4任一項所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述加強筋是設置在所述振膜正面的加強筋凹槽，所述加強筋凹槽的延伸方向平行于所述聲腔徑向。
6.根據權利要求5所述的MEMS麥克風，其特征在于，還包括：
設置在所述振膜的背面與所述加強筋凹槽相對的區域朝向所述聲腔一側的凸起結構。
7.根據權利要求1-4任一項所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述加強筋是設置在所述振膜正面的條狀凸起結構，所述條狀凸起結構的延伸方向平行于所述聲腔徑向。
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