[實(shí)用新型]一種光學(xué)系統(tǒng)波像差測(cè)量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420429293.0
• 申請(qǐng)日: 2014-07-31
• 公開（公告）號(hào): CN204008073U
• 公開（公告）日: 2014-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧增雄;齊月靜;蘇佳妮;楊光華;周翊;王宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院光電研究院
• 主分類號(hào): G01M11/02
• 分類號(hào): G01M11/02
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種光學(xué)系統(tǒng)波像差測(cè)量裝置，用于測(cè)量有限共軛光學(xué)系統(tǒng)的波像差，其特征在于，該測(cè)量裝置包括線偏振平面波發(fā)生源、1/2波片、偏振分光棱鏡、1/4波片、第二準(zhǔn)直鏡、球面反射鏡以及夏克-哈特曼波前傳感器，其中，

所述線偏振平面波發(fā)生源用于產(chǎn)生線偏振平面波；

所述1/2波片用于將所述線偏振平面波轉(zhuǎn)換后成為s偏振平面波；

所述偏振分光棱鏡用于將經(jīng)所述1/2波片透射的s偏振平面波反射到1/4波片，并透射來自所述1/4波片透射的p偏振光；

所述1/4波片用于將來自所述偏振分光棱鏡的s偏振平面波轉(zhuǎn)換成為圓偏振平面波，以及將由來自所述反射裝置的圓偏振平面波轉(zhuǎn)換成為p偏振平面波；

所述第二準(zhǔn)直鏡位于所述有限共軛光學(xué)系統(tǒng)與所述1/4波片之間，該第二準(zhǔn)直鏡的焦點(diǎn)和所述有限共軛光學(xué)系統(tǒng)的前焦點(diǎn)重合；

所述球面反射鏡的曲率中心與所述有限共軛光學(xué)系統(tǒng)的后焦點(diǎn)重合，所述球面反射鏡和所述有限共軛光學(xué)系統(tǒng)組成反射裝置，所述反射裝置用于使來自1/4波片的圓偏振平面沿原路返回；

所述夏克-哈特曼波前傳感器則用于測(cè)量入射到其上的p偏振光的波像差。

2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)系統(tǒng)波像差測(cè)量裝置，其特征在于，通過公式W＝(W_T-W_S)/2計(jì)算得到所述有限共軛光學(xué)系統(tǒng)的波像差，其中W為所述有限共軛光學(xué)系統(tǒng)的波像差，W_T為所述測(cè)量裝置在包含所述有限共軛光學(xué)系統(tǒng)時(shí)入射到夏克-哈特曼波前傳感器的p偏振光的波像差測(cè)量值，W_S為所述測(cè)量裝置在不包含所述有限共軛光學(xué)系統(tǒng)時(shí)入射到夏克-哈特曼波前傳感器的p偏振光的波像差測(cè)量值。

3.一種光學(xué)系統(tǒng)波像差測(cè)量裝置，用于測(cè)量無限遠(yuǎn)共軛光學(xué)系統(tǒng)的波像差，其特征在于，該測(cè)量裝置包括線偏振平面波發(fā)生源、1/2波片、偏振分光棱鏡、1/4波片、第二準(zhǔn)直鏡、平面反射鏡以及夏克-哈特曼波前傳感器，其中，

所述線偏振平面波發(fā)生源用于產(chǎn)生線偏振平面波；

所述1/2波片用于將所述線偏振平面波轉(zhuǎn)換后成為s偏振平面波；

所述偏振分光棱鏡用于將經(jīng)所述1/2波片透射的s偏振平面波反射到1/4波片，并透射來自所述1/4波片透射的p偏振光；

所述1/4波片用于將來自所述偏振分光棱鏡的s偏振平面波轉(zhuǎn)換成為圓偏振平面波，以及將由來自所述反射裝置的圓偏振平面波轉(zhuǎn)換成為p偏振平面波；

所述第二準(zhǔn)直鏡位于所述無限遠(yuǎn)共軛光學(xué)系統(tǒng)與所述1/4波片之間，該第二準(zhǔn)直鏡的焦點(diǎn)和所述無限遠(yuǎn)共軛光學(xué)系統(tǒng)的前焦點(diǎn)重合；

所述平面反射鏡和所述無限遠(yuǎn)共軛光學(xué)系統(tǒng)組成反射裝置，所述反射裝置用于使來自1/4波片的圓偏振平面沿原路返回；

所述夏克-哈特曼波前傳感器則用于測(cè)量入射到其上的p偏振光的波像差。

4.如權(quán)利要求3所述的光學(xué)系統(tǒng)波像差測(cè)量裝置，其特征在于，通過公式W＝(W_T-W_S)/2計(jì)算得到所述無限遠(yuǎn)共軛光學(xué)系統(tǒng)的波像差，其中W為所述無限遠(yuǎn)共軛光學(xué)系統(tǒng)的波像差，W_T為所述測(cè)量裝置在包含所述無限遠(yuǎn)共軛光學(xué)系統(tǒng)時(shí)入射到夏克-哈特曼波前傳感器的p偏振光的波像差測(cè)量值，W_S為所述測(cè)量裝置在不包含所述無限遠(yuǎn)共軛光學(xué)系統(tǒng)時(shí)入射到夏克-哈特曼波前傳感器的p偏振光的波像差測(cè)量值。

5.一種光學(xué)系統(tǒng)波像差測(cè)量裝置，用于測(cè)量無限遠(yuǎn)共軛光學(xué)系統(tǒng)的波像差，其特征在于，該測(cè)量裝置包括線偏振平面波發(fā)生源、1/2波片、偏振分光棱鏡、1/4波片、球面反射鏡以及夏克-哈特曼波前傳感器，其中，

所述線偏振平面波發(fā)生源用于產(chǎn)生線偏振平面波；

所述1/2波片用于將所述線偏振平面波轉(zhuǎn)換后成為s偏振平面波；

所述偏振分光棱鏡用于將經(jīng)所述1/2波片透射的s偏振平面波反射到1/4波片，并透射來自所述1/4波片透射的p偏振光；

所述1/4波片用于將來自所述偏振分光棱鏡的s偏振平面波轉(zhuǎn)換成為圓偏振平面波，以及將由來自所述反射裝置的圓偏振平面波轉(zhuǎn)換成為p偏振平面波；

所述球面反射鏡和所述無限遠(yuǎn)共軛光學(xué)系統(tǒng)組成反射裝置，所述反射裝置用于使來自1/4波片的圓偏振平面沿原路返回；

所述夏克-哈特曼波前傳感器則用于測(cè)量入射到其上的p偏振光的波像差。