[實(shí)用新型]一種設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測(cè)保護(hù)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420423284.0
• 申請(qǐng)日: 2014-07-29
• 公開（公告）號(hào): CN204156496U
• 公開（公告）日: 2015-02-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孔莉菲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H02H3/00
• 分類號(hào): H02H3/00;G01R31/02
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種設(shè)備故障檢測(cè)裝置，尤其涉及一種設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測(cè)保護(hù)裝置。

背景技術(shù)

在光刻機(jī)系統(tǒng)中，考慮到機(jī)械組裝和設(shè)置現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)點(diǎn)的問題，光刻機(jī)的電機(jī)、傳感器、光柵尺和板卡等(以下統(tǒng)稱為“執(zhí)行器”)通常都會(huì)經(jīng)過多次的接插件的對(duì)插進(jìn)行連接，才可以在控制終端得到執(zhí)行器的數(shù)據(jù)。在光刻機(jī)的運(yùn)行過程中，有時(shí)會(huì)無法讀取到執(zhí)行器所發(fā)送的數(shù)據(jù)，或者無法對(duì)執(zhí)行器進(jìn)行正常的供電。造成這一現(xiàn)象的原因可能是終端控制軟件發(fā)生問題、可能是執(zhí)行器本身已經(jīng)損壞、也可能是因?yàn)殡娎|接插件接觸不良，或者接插件已經(jīng)斷開等等多種原因?qū)е碌摹Ｄ壳坝龅酱祟悊栴}的處理方法是對(duì)以上可能性一一進(jìn)行排查，最先檢查項(xiàng)便是線纜接插件的連接情況，鑒于光刻機(jī)的機(jī)械構(gòu)造十分復(fù)雜，且空間有限，很多接插件的對(duì)插位置十分刁鉆、需要拆除部分機(jī)械件，再由測(cè)試人員鉆入狹小的空間進(jìn)行檢測(cè)，不便捷的同時(shí)，也十分浪費(fèi)時(shí)間。若最后檢測(cè)結(jié)果顯示不是接插件的連接故障導(dǎo)致信號(hào)傳輸故障和供電故障的話，不但錯(cuò)過了解決問題的第一時(shí)間，而且加大了機(jī)械人員和電氣檢測(cè)人員的工作量。

同時(shí)，就目前技術(shù)文檔調(diào)研表示，對(duì)于接插件在機(jī)器運(yùn)行過程中斷開的處理方式多為使用蜂鳴器或者LED燈示警，卻無任何斷電防護(hù)措施，這可能造成檢測(cè)人員在檢測(cè)過程中的人身傷害，也可能引起由于在接插件斷開處，接插件接觸了其他導(dǎo)電物質(zhì)發(fā)生短路，對(duì)設(shè)備造成損壞的后果。同時(shí)對(duì)檢測(cè)信號(hào)輸入端的接插件插件規(guī)格有要求，靈活度不高。

因此，如何提供一種可以在第一時(shí)間確認(rèn)設(shè)備在運(yùn)行過程中的信號(hào)傳輸故障和供電故障是否是由于電纜接插件接觸不良或者斷路造成，并且在接插件斷開的情況下對(duì)該條線路實(shí)施斷電保護(hù)措施的線纜通斷檢測(cè)保護(hù)裝置是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提供一種設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測(cè)保護(hù)裝置，可以在第一時(shí)間確認(rèn)設(shè)備在運(yùn)行過程中的信號(hào)傳輸故障和供電故障是否是由于電纜接插件接觸不良或者斷路造成，并且在接插件斷開的情況下對(duì)該條線路實(shí)施斷電保護(hù)。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測(cè)保護(hù)裝置，包括信號(hào)源、檢測(cè)信號(hào)回路以及檢測(cè)信號(hào)處理單元，所述信號(hào)源向所述檢測(cè)信號(hào)回路的一端發(fā)送信號(hào)，經(jīng)所述檢測(cè)信號(hào)回路的傳導(dǎo)作用傳遞至所述回路的另一端，所述檢測(cè)信號(hào)處理單元從所述回路的另一端接收所述發(fā)送信號(hào)，所述檢測(cè)信號(hào)回路由連接執(zhí)行器的接插件以及連接線纜組成。

較佳地，最靠近執(zhí)行器的所述接插件中未使用的兩個(gè)管腳短接，所述線纜中未使用的2根線分別引向2頭接插件中未使用的兩個(gè)管腳，所述執(zhí)行器的接插件與所述線纜的一頭的接插件配合接插連接。

較佳地，所述檢測(cè)信號(hào)處理單元包括：依次連接的反饋信號(hào)接收模塊、反饋信號(hào)儲(chǔ)存模塊、反饋信號(hào)控制處理模塊以及指示燈。

較佳地，所述反饋信號(hào)接收模塊連接至所述檢測(cè)信號(hào)回路的另一端，并將所述檢測(cè)信號(hào)回路檢測(cè)到的模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。

較佳地，所述數(shù)字信號(hào)通過所述反饋信號(hào)儲(chǔ)存模塊傳輸至所述反饋信號(hào)控制處理模塊。

較佳地，所述反饋信號(hào)控制處理模塊讀取所述檢測(cè)信號(hào)回路的信息，并對(duì)該信息進(jìn)行分析處理；處理后的信息由所述指示燈進(jìn)行指示。

較佳地，一個(gè)執(zhí)行器對(duì)應(yīng)一組相互連接的所述反饋信號(hào)接收模塊、所述反饋信號(hào)儲(chǔ)存模塊、所述反饋信號(hào)控制處理模塊以及所述指示燈。

較佳地，所述檢測(cè)信號(hào)處理單元還包括：反饋信號(hào)人機(jī)操作模塊和執(zhí)行器電源信號(hào)控制模塊，所述反饋信號(hào)人機(jī)操作模塊的輸入端連接至所述反饋信號(hào)控制處理模塊，所述反饋信號(hào)人機(jī)操作模塊的輸出端連接至所述執(zhí)行器電源信號(hào)控制模塊和信號(hào)源，所述執(zhí)行器電源信號(hào)控制模塊的輸出端連接至所述執(zhí)行器的供電端。

較佳地，所述反饋信號(hào)控制處理模塊讀取到的檢測(cè)信號(hào)回路的信息分為三種：讀取到連續(xù)的高電平信號(hào)，則對(duì)應(yīng)執(zhí)行器的接插件連接牢固；讀取到交替變換的高低電平信號(hào)，則對(duì)應(yīng)執(zhí)行器的接插件連接不良；讀取到連續(xù)的低電平信號(hào)，則對(duì)應(yīng)執(zhí)行器的接插件出現(xiàn)斷路。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1.本實(shí)用新型可在執(zhí)行器運(yùn)行過程中發(fā)生數(shù)據(jù)無法讀取和無法對(duì)執(zhí)行器供電情況下，第一時(shí)間確定或排除引發(fā)故障的原因是否為電纜接插件連接故障。從而加快問題的排查速度，提高工作效率，降低不必要的工作量；

2.利用連接執(zhí)行器的接插件以及連接線纜構(gòu)成檢測(cè)信號(hào)回路，使得接插件一旦接觸不良就可立即被發(fā)現(xiàn)，故而提高了發(fā)現(xiàn)問題的效率，使接插件空置管腳利用率最大化；