[實(shí)用新型]彈性波裝置用復(fù)合基板以及彈性波裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420419957.5
• 申請日: 2014-07-28
• 公開（公告）號(hào): CN204334515U
• 公開（公告）日: 2015-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 浜島章;多井知義;堀裕二
• 申請（專利權(quán)）人: 日本礙子株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H03H9/05
• 分類號(hào): H03H9/05
• 代理公司: 上海市華誠律師事務(wù)所 31210
• 代理人: 李曉

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及彈性波裝置用復(fù)合基板、其制法和彈性波裝置。

背景技術(shù)

以往，已知有支承基板和壓電基板貼合的彈性波裝置用的復(fù)合基板。作為彈性波裝置，例舉有在這樣的復(fù)合基板中壓電基板的表面上設(shè)有能夠激勵(lì)彈性表面波的梳形電極的裝置等。作為支承基板，采用具有比壓電基板更小的熱膨脹系數(shù)的基板的話，由于溫度變化時(shí)的壓電基板的大小變化得到抑制，所以彈性波裝置的頻率特性的變化得到抑制。又，通過將壓電基板中與支承基板貼合側(cè)的面制作為粗糙面，亂真信號(hào)的產(chǎn)生產(chǎn)生得到抑制(參照專利文獻(xiàn)1)。此時(shí)，在梳形電極附近與彈性表面波一同產(chǎn)生的作為彈性波的一種的體波到達(dá)壓電基板的背面，但由于該背面為粗糙面，具有凹凸，因此會(huì)被散射。結(jié)果，亂真信號(hào)的產(chǎn)生得到抑制。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

【專利文獻(xiàn)1】日本專利特開2012－85286號(hào)公報(bào)

實(shí)用新型內(nèi)容

實(shí)用新型所要解決的問題

然而，專利文獻(xiàn)1所述的彈性波裝置中，為了防止設(shè)于壓電基板的背面的凹凸與支承基板之間卷入空氣，在貼合兩基板之前，在將填充劑埋入壓電基板的背面的凹凸之后，需要進(jìn)行再研磨使之平坦。因此，產(chǎn)生復(fù)合基板的制造工序數(shù)增加的問題。

本實(shí)用新型為解決上述問題，提供一種能夠抑制彈性波裝置的亂真信號(hào)的產(chǎn)生且構(gòu)成簡單的復(fù)合基板。

解決問題的手段

本實(shí)用新型的彈性波裝置用復(fù)合基板為將壓電基板和支承基板貼合的彈性波裝置用復(fù)合基板，所述壓電基板具有抑制亂真信號(hào)產(chǎn)生的彎曲。

該彈性波裝置用復(fù)合基板中，由于壓電基板具有抑制亂真信號(hào)產(chǎn)生的彎曲，因此可使利用該復(fù)合基板制作的彈性波裝置的體波為低振幅且寬幅，由此可抑制亂真信號(hào)的產(chǎn)生。又，復(fù)合基板為在壓電基板設(shè)置彎曲的基板，因此結(jié)構(gòu)簡單。

本實(shí)用新型的彈性波裝置用復(fù)合基板中，抑制亂真信號(hào)產(chǎn)生的彎曲優(yōu)選為例如，彎曲的曲線要素的平均長度WSm為形成于壓電基板的表面的IDT電極的電極指的配置周期的20～250倍，彎曲的最大高度Wz為形成于壓電基板的表面的IDT電極的電極指的配置周期的0.2～1.5倍。此處，彎曲的曲線要素的平均長度WSm為以JISB0601定義的表面性狀參數(shù)，相當(dāng)于彎曲的周期。WSm超過上限值的話，利用該復(fù)合基板的彈性波裝置的體波不發(fā)生衰減、可能無法抑制亂真信號(hào)的產(chǎn)生，如果WSm小于下限值的話，彈性波的傳遞效率下降，過濾器的損失變大。又，彎曲的最大高度Wz為以JISB0601定義的表面性狀參數(shù)，為彎曲的峰高的最大值和谷深的最大值的和。Wz超過上限值的話，采用該復(fù)合基板的彈性波裝置的彈性波的傳遞效率下降，過濾器的損失變大，Wz小于下限值的話，體波不衰減，可能無法抑制亂真信號(hào)的產(chǎn)生。

本實(shí)用新型的彈性波裝置用復(fù)合基板中，所述壓電基板最好在與所述壓電基板中的與所述支承基板接合的面相對側(cè)的面具有所述抑制亂真信號(hào)產(chǎn)生的彎曲。抑制亂真信號(hào)產(chǎn)生的彎曲可形成于壓電基板中的與支承基板的接合面，但形成于壓電基板的表面的話制造更容易。

本實(shí)用新型的彈性波裝置用復(fù)合基板中，所述壓電基板中具有所述抑制亂真信號(hào)產(chǎn)生的彎曲的面的算術(shù)平均粗糙度Ra(除了彎曲成分的粗糙度)最好是1nm以下。由?此，采用該復(fù)合基板的彈性波裝置的特性變得良好。

本實(shí)用新型的彈性波裝置用復(fù)合基板的制法包括：

(a)將壓電基板和支承基板貼合的制作貼合基板的工序；

(b)準(zhǔn)備包括有：表面具有研磨布的能夠繞軸旋轉(zhuǎn)的基盤、配置于相對該基盤位置的能夠繞軸旋轉(zhuǎn)的基板載置器的研磨裝置的工序；

(c)準(zhǔn)備具有抑制亂真信號(hào)產(chǎn)生的彎曲的粘結(jié)片的工序；

(d)將所述粘結(jié)片的一面安裝于所述基板載置器，所述粘結(jié)片的另一面緊貼所述貼合基板中的所述支承基板并固定，并以所述貼合基板中的所述壓電基板與所述研磨布接觸了的狀態(tài)，一邊向所述研磨布提供研磨漿料一邊使得所述基盤和所述基板載置器繞軸旋轉(zhuǎn)，由此研磨所述壓電基板的工序；

(e)將研磨后的貼合基板從所述研磨裝置取下的工序。