[實(shí)用新型]一種新型擴(kuò)散爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420418703.1
• 申請(qǐng)日: 2014-07-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203976978U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 侯飛
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 浙江德西瑞光電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B31/16
• 分類(lèi)號(hào): C30B31/16;C30B31/12
• 代理公司: 寧波市鄞州盛飛專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 33243
• 代理人: 張向飛

1.一種新型擴(kuò)散爐，其特征在于：包括爐門(mén)、及與爐門(mén)相連的爐體，所述爐門(mén)上設(shè)有與爐體內(nèi)腔相通的進(jìn)氣裝置，所述爐體內(nèi)設(shè)有用于放置硅片的石英舟，所述石英舟上纏繞有螺旋管，所述螺旋管上設(shè)有送氣孔，所述送氣孔設(shè)在靠近硅片側(cè)，所述爐體內(nèi)還設(shè)有排氣管，所述排氣管上設(shè)有若個(gè)排氣孔，排氣孔為朝向石英舟上的硅片，伸入爐體內(nèi)腔的排氣管端為封閉的，排氣管的另一端穿出爐體側(cè)壁上的出氣孔，且該端的排氣管與尾氣管道相連，所述進(jìn)氣裝置包括儲(chǔ)氣箱體、進(jìn)氣管道，所述儲(chǔ)氣箱體的下端設(shè)有3個(gè)通向大氣的進(jìn)氣管道，進(jìn)氣管道上設(shè)有若干個(gè)孔，所述儲(chǔ)氣箱體上端設(shè)有出口，該出口處與波紋管相連，所述波紋管另一端與爐體內(nèi)的螺旋管相連，出氣孔處爐體的側(cè)壁上設(shè)有設(shè)有排風(fēng)管，所述排風(fēng)管上至少開(kāi)設(shè)有一個(gè)進(jìn)風(fēng)口，所述排風(fēng)管上的出氣口與抽風(fēng)機(jī)相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型擴(kuò)散爐，其特征在于：排氣管上均勻設(shè)有8個(gè)排氣孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種新型擴(kuò)散爐，其特征在于：所述尾氣管道與氣體過(guò)濾裝置相連。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種新型擴(kuò)散爐，其特征在于：所述排氣管與尾氣管道連接處設(shè)有密封圈，所述密封圈的兩端分別與排氣管、尾氣管道相連，所述密封圈的內(nèi)外表面為柔韌性好耐高溫的有機(jī)硅膠。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種新型擴(kuò)散爐，其特征在于：所述排風(fēng)管上開(kāi)設(shè)有2個(gè)進(jìn)風(fēng)口。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種新型擴(kuò)散爐，其特征在于：所述位于排風(fēng)管上的進(jìn)風(fēng)口處設(shè)有推蓋。