[實(shí)用新型]一種雙橡膠圈差分密封的超高真空閥門

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420412907.4
• 申請日: 2014-07-25
• 公開（公告）號: CN203948663U
• 公開（公告）日: 2014-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙嘉峰;歐宏煒
• 申請（專利權(quán)）人: 費(fèi)密儀器科技（上海）有限公司
• 主分類號: F16K1/18
• 分類號: F16K1/18;F16K1/46;F16K1/32
• 代理公司: 上海正旦專利代理有限公司 31200
• 代理人: 陸飛;盛志范

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于閥門技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種雙橡膠圈差分密封的超高真空閥門。

背景技術(shù)

目前國內(nèi)外大部分的實(shí)驗(yàn)設(shè)備中，真空腔體上的開關(guān)閥門都普遍采用橡膠圈密封，因?yàn)橄鹉z圈具有壽命長、體積小、成本低、開關(guān)閥門方便等特點(diǎn)。傳統(tǒng)橡膠圈密封閥門通常都只設(shè)計(jì)一個O型密封橡膠圈，閥門的兩個法蘭口通過擠壓橡膠圈實(shí)現(xiàn)自密封。但由于橡膠圈本身的氣體漏率以及使用過程中橡膠圈的磨損等因素，與傳統(tǒng)橡膠圈密封閥門相連接的腔體，在機(jī)械泵結(jié)合200L/s抽速的分子泵抽氣的前提下，一般的極限真空約為10^-7mbar量級，這在很大程度上并不能滿足用戶對于超高真空的需求。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種密封性更高的雙橡膠圈差分密封的超高真空閥門，提高了橡膠密封閥門的極限真空量級。

本實(shí)用新型所提供的雙橡膠圈差分密封的真空閥門裝置，主要包括雙面法蘭1、第一密封橡膠圈2、第二密封橡膠圈3、差分抽氣法蘭4和密封盲板5；

所述雙面法蘭1的一面上，圍繞法蘭中心開口設(shè)置有同心的第一密封卡槽6和第二密封卡槽7，第一密封橡膠圈3和第二密封橡膠圈5分別設(shè)置在第一密封卡槽6和第二密封卡槽7中；

所述差分抽氣法蘭4設(shè)置于雙面法蘭1的側(cè)邊，用于連接機(jī)抽氣械泵；

所述第一密封卡槽6和第二密封卡槽7之間設(shè)計(jì)有一差分抽氣孔8，并與差分抽氣法蘭4貫通連接；

所述密封盲板5通過一個活動軸9與雙面法蘭1活動連接，能蓋合在雙面法蘭1設(shè)有密封橡膠圈的一面上。如圖2所示。

本使用新型中，所述雙面法蘭1和密封盲板5的一側(cè)還設(shè)有一套閉合鎖定裝置。

本使用新型中，所述閉合鎖定裝置包括設(shè)置于雙面法蘭1一側(cè)的把手座10和手柄11，以及設(shè)置于密封盲板5相應(yīng)一側(cè)的卡口12；手柄11和把手座10旋轉(zhuǎn)連接，在密封盲板5和雙面法蘭1閉合時，手柄11旋轉(zhuǎn)插入卡口12中，通過轉(zhuǎn)動手柄11實(shí)現(xiàn)閥門的打開和閉合。

本使用新型中，所述第一密封橡膠圈2和第二密封橡膠圈3為O型密封橡膠圈。

本使用新型中，所述雙面法蘭1的另一面連接待安裝裝配體，并用銅墊圈密封。?

本實(shí)用新型設(shè)計(jì)有雙層密封橡膠圈，并在兩者之間設(shè)計(jì)抽氣用的差分抽氣孔，通過設(shè)置于差分抽氣法蘭上的機(jī)械泵對抽氣孔管道進(jìn)行抽氣，使得雙層密封橡膠圈之間為粗真空狀態(tài)（10^-1mbar量級）。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于這種三級差分抽氣設(shè)計(jì)，大大降低了泄漏氣體含量的情況，從而有效提高了橡膠圈密封閥門的極限真空度，通過前級油泵、渦輪分子泵配合對所連接腔體抽氣，可在短時間內(nèi)達(dá)到超高真空（10^-9mbar）。利用雙橡膠圈密封，結(jié)合差分抽氣，提高了傳統(tǒng)單層橡膠圈密封閥門的極限真空。

附圖說明

圖1?為本實(shí)用新型的整體關(guān)閉狀態(tài)結(jié)構(gòu)圖示。

圖2?為本實(shí)用新型的整體打開狀態(tài)結(jié)構(gòu)圖示。

圖中標(biāo)號：1為雙面法蘭，2為第一密封橡膠圈，3為第二密封橡膠圈，4為差分抽氣法蘭，5為密封盲板，6為第一密封卡槽，7為第二密封卡槽，8為差分抽氣孔，?9為活動軸，10為把手座，11為手柄，12為卡口。

具體實(shí)施方式

為了更好的理解本實(shí)用新型的上述目的，下文將結(jié)合附圖，詳細(xì)敘述本實(shí)用新型。

本實(shí)用新型中，所述雙面法蘭1采用一體加工而成，一側(cè)為CF刀口，設(shè)置有密封用銅墊圈，通過8個M6螺絲固定，將雙面法蘭與待安裝的裝配體連接，它們之間通過銅墊圈密封；雙面法蘭的另一側(cè)設(shè)計(jì)了圓形的第一密封卡槽6和第二密封卡槽7，分別承接第一密封橡膠圈2和第二密封橡膠圈3，密封橡膠圈為O型密封橡膠圈；所述第一密封卡槽6和第二密封卡槽7兩者之間設(shè)計(jì)有一個差分抽氣孔8，該小孔貫穿雙面法蘭1側(cè)邊，并與焊接在雙面法蘭1側(cè)邊的差分抽氣法蘭4連通；差分抽氣法蘭4可進(jìn)一步連接機(jī)械泵對第一密封卡槽6和第二密封卡槽7之間的間隙進(jìn)行抽氣；所述雙面法蘭1的側(cè)邊還通過螺絲安裝上活動軸9，密封盲板5通過螺栓與活動軸9連接，密封盲板5可沿豎直方向自由打開和閉合；所述把手座10通過螺絲固定于雙面法蘭側(cè)邊連接，并進(jìn)一步通過螺栓連接手柄11；所述手柄可以轉(zhuǎn)動以及擰緊，用于壓緊密封盲板5和雙面法蘭1，實(shí)現(xiàn)兩者的密封連接。

本實(shí)用新型中，所述O型密封橡膠圈是一種截面形狀為圓形的橡膠圈，屬于擠壓型密封方式。依靠旋緊手柄11卡住把手座10和卡口12，并進(jìn)一步旋緊手柄11使雙面法蘭1和密封盲板5之間通過第一密封橡膠圈2和第二密封橡膠圈3擠壓密封。