[實用新型]一種微球聚合物涂層制備裝置

有效

• 申請號: 201420411159.8
• 申請日: 2014-07-24
• 公開（公告）號: CN203976913U
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發明（設計）人: 何智兵;何小珊;許華;李俊;李玉紅;陳志梅
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: C23C16/517
• 分類號: C23C16/517;C23C16/458
• 代理公司: 中國工程物理研究院專利中心 51210
• 代理人: 翟長明

1.一種微球聚合物涂層制備裝置，包括進氣管（1）、射頻屏蔽罩（2）、電感線圈（3）、石英諧振腔（4）、真空室（8）；其特征在于：石英諧振腔（4）位于電感線圈（3）中，電感線圈（3）位于射頻屏蔽罩（2）中；電感線圈（3）兩引線從裝置頂端的接線柱引出，與射頻電源（10）相連；進氣管（1）與石英諧振腔（4）連接，石英諧振腔（4）與真空室（8）連接；真空室（8）內設有樣品架（5）、樣品升降臺（6）、敲擊桿（7），樣品架（5）與樣品升降臺（6）連接。

2.根據權利要求1所述的微球聚合物涂層制備裝置，其特征在于：石英諧振腔（4）上端為圓柱形，下端為錐形。

3.根據權利要求1所述的微球聚合物涂層制備裝置，其特征在于：電感線圈（3）的線圈匝數可調。

4.根據權利要求1所述的微球聚合物涂層制備裝置，其特征在于：敲擊桿（7）由螺線管、電磁鐵不銹鋼桿組成，不銹鋼桿伸入真空室（8）與樣品架（5）接觸。

5.根據權利要求1所述的微球聚合物涂層制備裝置，其特征在于：樣品架（5）由碗狀樣品盤（11）、真空電機（12）及電機托架（13）構成；碗狀樣品盤（11）與真空電機（12）連接，真空電機（12）置于電機托架（13）內。