[實用新型]用于排紙源石英舟的底座

有效

• 申請號: 201420406635.7
• 申請日: 2014-07-23
• 公開（公告）號: CN204029782U
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發明（設計）人: 張馨;馬汝朝
• 申請（專利權）人: 濟南晶博電子有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/683
• 代理公司: 濟南誠智商標專利事務所有限公司 37105
• 代理人: 王汝銀

技術領域

????本實用新型涉及硅片加工工藝中用于固定石英舟的設備，具體地說是一種用于排紙源石英舟的底座。

背景技術

硅片加工工藝中的紙源擴散是將紙源與硅片交替疊放于擴散石英舟上，然后經高溫擴散一次形成P層，P型區和N型區。目前，在石英舟上排紙源時，石英舟都是平放在桌面上，為了防止排好的硅片和紙源傾倒，操作人員需要一手扶持著排好的硅片和紙源，另一只手用于放置硅片和紙源，操作非常麻煩，效率低下。

實用新型內容

為了克服上述現有技術存在的缺點，本實用新型的目的在于提供一種使用方便，不需要手扶的用于排紙源石英舟的底座。

????為了解決上述問題，本實用新型采用以下技術方案：一種用于排紙源石英舟的底座，其特征在于，它包括底板、支架、活動板、擋板和擋塊，所述支架的下端固定在所述底板的后端，所述擋板設置在底板的前端，在擋板后方設置若干擋塊；所述活動板的上端兩側設置有凸鈕，在所述支架內側設置有與所述凸鈕配合的滑槽。

????進一步的，在所述底板與支架之間設置有加強板。

????優選的，在所述活動板上表面設置有橡膠防滑墊，所述橡膠防滑墊上設置有防滑紋。

????優選的，所述擋板與所述底板的夾角為鈍角。

????本實用新型的有益效果是：它結構簡單，小巧，移動靈活方便；石英舟可傾斜放在上面，因此在排放紙源和硅片時不需要用手扶持；它的活動板可調節坡度，可根據需要調整石英舟的傾斜度。

附圖說明

????下面結合附圖和實施例對本實用新型做進一步的說明：

圖1為本實用新型的整體結構示意圖；

圖2為本實用新型的活動板俯視圖。

圖中，1底板、2支架、21滑槽、3活動板、31凸鈕、32橡膠防滑墊、4擋板、5擋塊、6加強板、7石英舟。

具體實施方式

????下面結合附圖對本實用新型做進一步詳細說明：

如圖1和圖2所示，本實用新型的具體實施例包括底板1、支架2、活動板3、擋板4和擋塊5。

所述支架2的下端固定在所述底板1的后端，支架2與底板1呈直角，進一步的，為了保證整體構架的強度，在所述底板1與支架2之間設置有加強板6。所述擋板4設置在底板1的前端，優選的，所述擋板4與所述底板1的夾角為鈍角。在擋板4后方設置若干擋塊5，擋塊5為條形，等間距排列設置在底板1上。

所述活動板3的上端兩側設置有凸鈕31，在所述支架2內側設置有與所述凸鈕31配合的滑槽21，凸鈕31設置在滑槽21內。對于支架2，其結構包括橫桿和橫桿兩側的豎桿，滑槽21設置在豎桿內側。

為了防止石英舟7在活動板3上左右滑動，在所述活動板3上表面設置有橡膠防滑墊32，所述橡膠防滑墊32上設置有防滑紋，防滑紋的豎向設置。

使用時，先調節活動板3的傾斜度，找到合適的傾斜度后，將活動板3的底端卡在擋塊5上，然后將石英舟7的底端放置在擋板4上，另一端放置在活動板3上。在排列過程中，如果需要增大或減小石英舟的傾斜度，可以一只手抬起石英舟的上端，另一只手調節活動板3。

以上所述只是本實用新型的優選實施方式，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也被視為本實用新型的保護范圍。