[實(shí)用新型]一種用于保護(hù)真空鍍膜設(shè)備觀察窗的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420403821.5
• 申請(qǐng)日: 2014-07-22
• 公開（公告）號(hào): CN203999800U
• 公開（公告）日: 2014-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林嵐;鄒慧慧;張平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 張平;臺(tái)州學(xué)院
• 主分類號(hào): C23C14/52
• 分類號(hào): C23C14/52
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于保護(hù)真空鍍膜設(shè)備觀察窗的裝置。

背景技術(shù)

真空鍍膜是一種制備功能薄膜、裝飾膜層以及材料表面改性的常用手段，在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)及科學(xué)研究中有著廣泛的應(yīng)用。觀察窗是真空鍍膜設(shè)備不可缺少的裝置，在真空鍍膜設(shè)備運(yùn)行過程中至關(guān)重要。在真空鍍膜過程中，操作者可以通過觀察窗隨時(shí)觀察真空腔室內(nèi)部運(yùn)行狀況，掌控鍍膜的進(jìn)展，保證鍍膜工藝的順利進(jìn)行及設(shè)備的安全運(yùn)行。常用的觀察窗一般采用擋板來保護(hù)觀察玻璃不被污染。但由于結(jié)構(gòu)簡單，在鍍膜過程中，仍然會(huì)有少量沉積物附著在觀察玻璃上。同時(shí)，在長期使用觀察窗觀察鍍膜實(shí)時(shí)情況后，觀察玻璃會(huì)被沉積上污染物變得模糊不清，甚至無法觀察真空腔室內(nèi)的工作情況。在這種情況下，往往需要拆卸觀察窗，卸下觀察玻璃進(jìn)行清理。由于觀察窗直接連接真空腔室，頻繁的拆卸會(huì)導(dǎo)致該部位密封性能變差，從而影響真空腔室的真空度及鍍膜的質(zhì)量。并且，對(duì)于采用金屬密封墊圈的觀察窗，每次拆卸都需要更換金屬密封墊圈，成本較大。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型就是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、清理方便并能有效保護(hù)觀察玻璃不被污染的裝置。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，提供一種用于保護(hù)真空鍍膜設(shè)備觀察窗的裝置，包括由不銹鋼薄板卷成的圓筒8、固定擋片9、固定擋片11以及保護(hù)玻璃10，其特征在于所述裝置圓筒由一張不銹鋼薄板卷成，薄板上事先做好固定保護(hù)玻璃用的固定擋片，使用時(shí)將帶有保護(hù)玻璃的一端放進(jìn)觀察座的內(nèi)腔中，并將圓筒外內(nèi)推，使保護(hù)玻璃和觀察玻璃貼合，所述的觀察窗座一般為圓柱體并密封焊接在真空腔室上。保護(hù)玻璃在觀察玻璃與真空腔室之間現(xiàn)成了間隔，從而可以有效地保護(hù)觀察玻璃不被污染，達(dá)到減少拆卸觀察窗的目的。

所述的不銹鋼薄板應(yīng)具有一定的韌性，可以在薄板上折出永久變形的擋片。

所述的不銹鋼薄板還應(yīng)具有一定的彈性，在卷成圓筒后，可以依靠自身的彈性將裝置固定在觀察窗座內(nèi)腔中并保持圓筒形狀。

所述的固定擋片主要用于固定保護(hù)玻璃，擋片的數(shù)量及尺寸可以根據(jù)保護(hù)玻璃的尺寸和重量進(jìn)行調(diào)整。

所述的保護(hù)玻璃的直徑要略小于觀察窗座內(nèi)腔的直徑，保護(hù)玻璃由固定擋片固定在圓筒的一端，并隨圓筒朝內(nèi)卡持在觀察窗座內(nèi)腔中，與觀察玻璃貼合。

所述的圓筒長度要略長于觀察窗座內(nèi)腔的深度，以便于圓筒從觀察窗座內(nèi)腔中取出，但不能擋住觀察窗的擋板。

本實(shí)用新型在現(xiàn)有觀察窗保護(hù)措施的基礎(chǔ)上，采用一種簡單的裝置，將保護(hù)玻璃至于觀察窗座內(nèi)腔中，使得觀察玻璃與真空腔室之間形成間隔，達(dá)到保護(hù)觀察玻璃不被污染、減少拆卸觀察窗的目的。本實(shí)用新型的圓筒由一張事先做好固定擋片的不銹鋼薄板卷成，制作簡單。保護(hù)玻璃通過該圓筒可以卡持在觀察窗座內(nèi)腔內(nèi)，并與觀察玻璃貼合。從而，保護(hù)玻璃可以擋住污染物，有效地阻止其沉積在觀察玻璃上，減少觀察玻璃的拆卸次數(shù)，達(dá)到保護(hù)觀察窗的目的。由于保護(hù)玻璃擋住了污染物，長期使用后會(huì)變得模糊。此時(shí)，只要將圓筒從觀察窗座內(nèi)腔中取出，然后展開便可將保護(hù)玻璃取下進(jìn)行清理，方便簡單。

附圖說明

圖1是用于制作本實(shí)用新型圓筒的不銹鋼薄板示意圖；

如圖所示，圖中：1為不銹鋼薄板2、3、4、5、6、7為固定擋片；

圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖和截面圖；

圖3是將本實(shí)用新型置于觀察窗座內(nèi)腔內(nèi)的實(shí)施示意圖；

如圖所示，圖中：14為觀察玻璃15為觀察窗座內(nèi)腔16為本實(shí)用新型裝置17為保護(hù)玻璃18為真空腔室壁。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，這種裝置的結(jié)構(gòu)和原理對(duì)于本實(shí)用新型來說是非常清楚明了的。

本實(shí)用新型包括由不銹鋼薄板卷成的圓筒、固定擋片以及保護(hù)玻璃，其特征在于所述裝置圓筒由一張不銹鋼薄板卷成，薄板上事先做好固定保護(hù)玻璃用的擋片，使用時(shí)將帶有保護(hù)玻璃的一端放進(jìn)觀察座的內(nèi)腔中，并將圓筒外內(nèi)推，使保護(hù)玻璃和觀察玻璃貼合，所述的觀察窗座一般為圓柱體且密封焊接在真空腔室上。保護(hù)玻璃在觀察玻璃與真空腔室之間現(xiàn)成了間隔，從而可以有效地保護(hù)觀察窗上觀察玻璃不被污染，達(dá)到減少拆卸觀察窗的目的。經(jīng)過長期使用，擋板玻璃會(huì)變得模糊。此時(shí)，只要將圓筒從觀察窗座內(nèi)腔中取出，然后展開便可將保護(hù)玻璃取下進(jìn)行清理。操作方便簡單，不影響真空室密封性能，擋板玻璃清理干凈后可以重新使用。

首先按照?qǐng)D1所示，在不銹鋼薄板1上剪裁出“凸”形結(jié)構(gòu)的固定擋片2、3、4、5、6、7。然后將固定擋片沿圖1中所示的虛線朝同一方向折90°，形成固定圓形保護(hù)玻璃用的卡槽結(jié)構(gòu)。接著把保護(hù)玻璃放入由固定擋片形成的卡槽內(nèi)，并將不銹鋼薄板沿著保護(hù)玻璃的外圍卷成圓筒，如圖2所示，固定擋片9、11將保護(hù)玻璃固定在圓筒8的一端。在使用時(shí)，將帶有保護(hù)玻璃的一端放入觀察窗座內(nèi)腔中，并將圓筒外內(nèi)推，使保護(hù)玻璃和觀察玻璃貼合，獲得最佳觀察效果。本實(shí)用新型置于觀察窗座內(nèi)腔內(nèi)的實(shí)施示意圖如圖3所示，保護(hù)玻璃17可以隨圓筒16卡持在觀察窗座內(nèi)腔15中，將觀察玻璃14和真空腔室隔開。在使用觀察窗觀察真空室內(nèi)鍍膜狀態(tài)時(shí)，保護(hù)玻璃可以擋住污染物，避免沉積到觀察玻璃上對(duì)觀察玻璃造成污染，從而達(dá)到減少拆卸觀察窗的目的。如圖3所示，所設(shè)計(jì)的圓筒長度要略長于觀察窗座內(nèi)腔的深度，圓筒有部分超出真空腔室壁18，露在真空腔室內(nèi)。在需要清理保護(hù)玻璃時(shí)，可以很容易地把圓筒從觀察窗座內(nèi)腔中取出，然后展開便可取下保護(hù)玻璃進(jìn)行清理。