[實(shí)用新型]靜電檢測(cè)結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420402769.1
• 申請(qǐng)日: 2014-07-21
• 公開（公告）號(hào): CN204167264U
• 公開（公告）日: 2015-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉逸舟;朱曉崢;楊曉松
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種靜電檢測(cè)結(jié)構(gòu)，用于檢測(cè)晶圓表面電荷，其特征在于，包括：基底、形成于所述基底上的第一金屬塊以及形成于所述基底上并位于所述第一金屬塊一側(cè)的多個(gè)間隔分布的第二金屬塊，所述第一金屬塊與多個(gè)第二金屬塊距離基底的高度相同；所述多個(gè)第二金屬塊與第一金屬塊之間的間距不等；所述第一金屬塊通過互連線與基底電性相通。

2.如權(quán)利要求1所述的靜電檢測(cè)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二金屬塊為矩形，長(zhǎng)度為l，寬度為w，且w>2l。

3.如權(quán)利要求2所述的靜電檢測(cè)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一金屬塊和第二金屬塊的厚度h相同。

4.如權(quán)利要求3所述的靜電檢測(cè)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多個(gè)第二金屬塊到第一金屬塊之間的距離呈等差分布，最小的距離為d0，d0<sqr(h×l)。

5.如權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)所述的靜電檢測(cè)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述靜電檢測(cè)結(jié)構(gòu)還包括置于第二金屬塊一側(cè)的標(biāo)尺。

6.如權(quán)利要求1所述的靜電檢測(cè)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述基底、第一金屬塊、多個(gè)第二金屬塊及互連線之間填充有介電層。