[實用新型]一種單晶坩堝自動噴涂設備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420400681.6 | 申請日： | 2014-07-20 |
| 公開（公告）號： | CN204051996U | 公開（公告）日： | 2014-12-31 |
| 發(fā)明（設計）人： | 費志瑾 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州塔可盛電子科技有限公司 |
| 主分類號： | B05B13/06 | 分類號： | B05B13/06;B05B7/24;B05B15/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 坩堝 自動 噴涂 設備 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種單晶坩堝自動噴涂設備，包括放物臺，其特征在于，所述放物臺上固定卡接單晶坩堝，從而保證單晶坩堝的穩(wěn)定，所述單晶坩堝內(nèi)設有一個流體動力室，流體動力室通過雙孔導管連接在平臺上；所述流體動力室內(nèi)設有主動風輪，主動風輪下方固連有擋盤，且擋盤的下方中心部連接有一個中空的導管，導管貫穿流體動力室底部室壁，導管在流體動力室的一端外圍設有若干個通孔，通孔連接導管內(nèi)部；所述導管的另一端設有開口，且開口的一端設置在噴槍內(nèi)；所述流體動力室的頂部設有兩個中心對稱的進氣接口；所述進氣接口分別通過管道連接雙孔導管內(nèi)的通道，雙孔導管其中的一條通道通過輸液管與藥液箱連接，且輸液管上設有第一氮氣進口，所述藥液箱的頂部設有第二氮氣進口；雙孔導的另一條通道連接二氧化碳進氣管；所述平臺上放設有抽風機，抽風機的抽氣口連接端蓋，且抽風機連接布袋。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶坩堝自動噴涂設備，其特征在于，所述單晶坩堝的頂部設有與平臺連接的罩子。
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