[實用新型]一種用于爐門的精確控制機構

有效

• 申請號: 201420395633.2
• 申請日: 2014-07-17
• 公開（公告）號: CN204138353U
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發明（設計）人: 李曄純;成秋云;吳得軼;謝振勇;周順峰
• 申請（專利權）人: 湖南紅太陽光電科技有限公司
• 主分類號: C01B33/021
• 分類號: C01B33/021
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強;李發軍

技術領域

本實用新型涉及一種主要應用于離子體增強化學氣相淀積設備（PECVD）的反應爐體爐門中的安全有效的爐門精確控制機構，同時也適用于其他一些需要對爐門精確對準的設備。

背景技術

等離子體增強化學氣相淀積設備（PECVD），是利用高頻電源輝光放電產生等離子體對化學氣相沉積過程施加影響的技術。作為單晶硅和多晶硅電池片生產工藝的關鍵設備之一，其效率及穩定性關系到整條生產線的效率。在當今時代生產的穩定運行尤為重要，如何使設備穩定運行，作為PECVD設備中的一個部件，爐門機構的穩定性對整個設備的穩定性有很大影響。

電熱爐是特制的高可靠性的發熱體，是經過特殊工藝制成，它對恒溫區的長度、精度及穩定度提供了基礎，是影響成膜速率和均勻性的必要條件之一。工藝管是引進美國的.具有口徑大、壁厚均勻無氣泡的優良性，它水平置于爐體的中央，兩端配有密封法蘭，同時經特殊磨口為真空密封提供可靠保證。

目前，對于爐門的運動控制，在領域內應用最多的是旋轉式爐門、步進電機爐門等方式。中國發明專利申請CN102719805A?公開了一種用于PECVD設備的自動爐門機構，該運動控制機構運用連桿控制爐門旋轉，從而達到爐門的開啟和閉合。該機構精度不高，缺少爐門與爐門口的對心功能，因而密封性能差，且運動空間大，體積和和總量比較大。

上述現有技術存在精度不夠、結構相對復雜，以及占用空間大的缺陷，這對于PECVD設備行業對于設備占用空間及設備穩定性有著苛刻限制的要求是非常不利的。

實用新型內容

針對現有技術存在的上述缺陷，本實用新型旨在提供一種PECVD爐門位置可調，控制精確，密封性能好的新型爐門精確控制機構，該爐門機構可以保證爐門和石英管門完全密封。

為了實現上述目的，本實用新型所采用的技術方案是：

一種PECVD爐門精確控制機構，其結構特點是，包括底座，固定安裝在底座上的縱向移動機構，以及裝在縱向移動機構上的橫向移動機構；可沿著縱向移動機構縱向移動的所述橫向移動機構上裝有上支撐板，可沿著橫向移動機構橫向移動的該上支撐板通過一橫向固定板與爐門的固定筒固定相連；所述上支撐板上有豎向布置的腰孔，所述橫向固定板通過兩個穿過所述腰孔的緊固件固定在上支撐板上；所述上支撐板上還設有橫向設置的定位凸臺，該定位凸臺上設有對橫向固定板進行豎向定位的定位機構。

由此，爐門橫向移動機構與連接爐門固定桶的橫向固定板采用腰孔的固定方式。這種方式可以實現爐門在上下方向進行微調，改變了以往爐門位置一旦確定就無法調整的缺陷。

以下為本實用新型的進一步改進的技術方案：

所述橫向移動機構包括橫向導軌和固定在縱向移動機構上的氣缸，該氣缸的活塞桿端與所述上支撐板固定相連，該上支撐板裝在橫向導軌上并在活塞桿的驅動下可沿著橫向導軌往復移動。

所述橫向移動機構的氣缸為無桿雙作用氣缸。

所述橫向移動機構采用心軸支撐在縱向移動機構上。

所述定位機構包括開設在定位凸臺上的定位孔，以及裝在定位孔上的定位螺釘，該定位螺釘的頂端與橫向固定板接觸；由此，爐門位置并不是固定的，可以通過橫向移動機構進行橫向校準，也可以通過定位螺釘對橫向固定板進行豎向校準，從而達到對爐門的豎向校準。

上支撐板用于安裝緊固螺釘的孔為腰孔，在一個腰孔上裝有兩個緊固螺釘，既能有效連接固定上支撐板和橫向固定板，又能夠讓橫向固定板相對上支撐板移動。

通過緊固螺釘可實現橫向移動機構與橫向固定板的初步連接和固定。這里緊固螺釘采用對稱布置，保證了受力的均衡。

進一步，在橫向固定板下還有定位螺釘，即可以通過定位螺釘來調整爐門位置，并且因為有定位螺釘的原因，在定位螺釘固定的情況下，爐門的位置并不會發生改變。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：，橫向移動機構可以實現爐門的橫向移動，而且運用了無桿氣缸，可以滿足小位移的動作。再結合爐門上下的定位機構，這就實現了爐門位置的精確定位。

以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步闡述。

附圖說明

圖1是本實用新型一個實施例的結構原理圖；

圖2?是用于爐門豎直運動的部件示意圖。

在圖中：

1-爐門，2-固定筒，3-橫向固定板，4-上支撐板，5-橫向移動機構，6-縱向移動機構，7-緊固螺釘，8-定位螺釘，9-腰孔，10-定位孔。

具體實施方式