[實用新型]一種用于橢偏儀的自動對焦裝置

有效

• 申請號: 201420394707.0
• 申請日: 2014-07-17
• 公開（公告）號: CN204129299U
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發明（設計）人: 田晶晶;何麗;劉蕾
• 申請（專利權）人: 系科光電科技（上海）有限公司
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;G01B11/06
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 胡志強

技術領域

本實用新型涉及橢偏儀技術領域，具體涉及一種用于橢偏儀的自動對焦裝置。

背景技術

橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器。由于測量精度高，適用于超薄膜，與樣品非接觸，對樣品沒有破壞，使得橢偏儀成為一種極具吸引力的測量儀器。

自動對焦功能對于橢偏儀的系統性功能完善非常重要。光譜橢偏儀一般采用反射式光路設計，光路經由被測試片反射進入接受光手臂，再經過光纖傳輸進入光譜儀(探測器)，而光纖孔徑又非常之小(直徑一般小于1mm)，不同試片的厚度變化或者鍍在試片表面膜層厚度的變化都會導致光線無法射入光纖入口，因此，在正式測試之前最好使用自動對焦技術，讓載物臺載著試片自動移動至正確的位置。現在的技術一般采用手動對焦，或者設計全新的載物臺安裝在橢偏儀底板上，載物臺中內置復雜的移動機構來實現垂直移動，以此來避免標準線性模組的長度過長所引起的載物臺操作平面的抬升(載物臺操作平面的過高會影響客戶的使用方便)，而這種復雜機構的性價比及穩定性一般都會低于線性模組，并且由于其從正面安裝，這樣導致前端的外露零件較多，而且還存在很多接線不整齊的困擾。

另外，在手動改變光路入射角的橢偏儀結構設計中，光路入射手臂及接受手臂都會連接在光學墻前側并圍繞同一圓心點轉動(一般采用軸承作為圓心點，軸承固定在光學墻面的前方或內置位置)，這就使得線性模組沒有在光學墻前側安裝的空間，而且安裝在前側也會產生前端外露件多、接線不整齊的情況。

實用新型內容

針對上述提到的現有技術中存在的問題，本實用新型的目的是提供一種結構簡單合理、且可實現自動對焦功能的用于橢偏儀的自動對焦裝置。

為了實現本實用新型的目的，采用的技術方案如下：

一種用于橢偏儀的自動對焦裝置，所述橢偏儀包括工作臺，所述自動對焦裝置包括光學墻、線性模組和連接架，所述線性模組豎直的設置于所述工作臺的一側，所述光學墻與所述線性模組連接固定、且所述光學墻位于所述工作臺與所述線性模組之間，所述連接架的一端在所述線性模組上上下滑動，另一端穿過光學墻后與所述工作臺的下端連接。

作為優選的技術方案：所述連接架的形狀為“L”形。

作為優選的技術方案：所述線性模組上設置有滑槽，所述連接架上對應的設置有在所述滑槽上滑動的滑塊。

作為優選的技術方案：所述光學墻上設置有用于所述連接架上下移動的方形穿孔。

作為優選的技術方案：所述工作臺上設置有角度切換件。

本實用新型裝置采用一個線性模組，將線性模組和部分連接架安放在光學墻的背面，一部分連接架通過光學墻引入前側與工作臺連接。線性模組的接線以及電機均在后部接線，而且光學墻后側最終也是一個封閉的結構，這樣子形成了裝置中的線路不會外顯，而且線性模組等一系列零件也全部封鎖在封閉的結構中。角度轉換件也是通過連接架將其和線性模組連接到一起，形成一個運動機構，從而帶動工作臺的上下運動，同時，線性模組帶動的這個一個整體可以實現自動對焦功能。

本實用新型的有益效果：

此結構將模組安放在光學墻后側，這樣走線可以在后側進行，而且本身后側可以被封閉，這樣就不必為走線而困惑，同樣零部件數量也會減少，降低了成本。另一方面，加上線性模組后可以實現自動對焦，這樣不僅減少了人工操作的麻煩，而且可使得對焦后的效果更好，精度更高，配上機器本身功能更加強大，產品的市場競爭力也自然而然的提高。

另外，將線性模組安裝在光學墻背面，這樣不僅可以錯開放置軸承的位置，而且可以避免線性模組的線路外露，使得外部的結構簡單，最重要的是線性模組的長度問題不再會影響載物臺的操作平面。

附圖說明

圖1為本實用新型用于橢偏儀的自動對焦裝置的立體結構示意圖；

圖2為圖1的左視結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型做進一步的描述。

參照圖1和圖2所示，一種用于橢偏儀的自動對焦裝置，橢偏儀包括工作臺5。自動對焦裝置包括光學墻1、線性模組2和連接架3，線性模組2豎直的設置于工作臺5的一側，光學墻1與線性模組2連接固定、且光學墻1位于工作臺5與線性模組2之間，連接架3的一端在線性模組2上上下滑動，另一端穿過光學墻1后與工作臺5的下端連接。

光學墻1上設置有用于連接架3上下移動的方形穿孔1-1。工作臺5上設置有角度切換件4，用于調制工作臺5的角度。