[實(shí)用新型]具有貼標(biāo)簽功能的下膜機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420392908.7
• 申請(qǐng)日: 2014-07-16
• 公開（公告）號(hào): CN204021371U
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃培峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鉅侖科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B65C1/02
• 分類號(hào): B65C1/02;B65C9/26
• 代理公司: 北京泰吉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍;林玖玲

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種下膜機(jī)，特別是涉及一種可以在膜片上貼設(shè)標(biāo)簽，并且將裝載有晶圓的膜片自載板上卸下的具有貼標(biāo)簽功能的下膜機(jī)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有晶圓在加工的過程中，為了保護(hù)晶圓同時(shí)方便辨識(shí)，通常會(huì)在一片載板上黏貼一片膜片，再將該晶圓擺放在該載板的一個(gè)承載孔內(nèi)，該晶圓暫時(shí)的黏貼在該膜片上。然后利用一臺(tái)下膜機(jī)將黏貼有膜片的晶圓一起自該載板上卸除，為了方便后續(xù)加工的辨識(shí)，在該晶圓移送的后續(xù)制程中，再利用一臺(tái)標(biāo)簽印制機(jī)印制具有晶圓的批次及批號(hào)的標(biāo)簽，并且將該標(biāo)簽黏貼在下膜后的膜片上。

現(xiàn)有晶圓在加工的過程中，雖然可以通過黏貼在該膜片上的標(biāo)簽，而達(dá)到方便辨識(shí)產(chǎn)品批號(hào)的目的，但是現(xiàn)有晶圓在加工時(shí)，有時(shí)會(huì)因?yàn)闄C(jī)械故障、控制機(jī)構(gòu)當(dāng)機(jī)等因素而暫停作業(yè)，此時(shí)工作人員需要停機(jī)維修，而輸送中的晶圓也會(huì)停留在機(jī)器的各個(gè)部位。當(dāng)下膜機(jī)恢復(fù)作業(yè)時(shí)，由于原本機(jī)器的設(shè)定值會(huì)錯(cuò)亂，需要重新設(shè)定，但該下膜機(jī)仍有一些因?yàn)闄C(jī)械故障而停放在機(jī)臺(tái)上的晶圓，因此，當(dāng)該下膜機(jī)恢復(fù)作業(yè)時(shí)，持續(xù)印制的標(biāo)簽往往無(wú)法正確黏貼在對(duì)應(yīng)該晶圓批號(hào)的膜片上，造成標(biāo)示的錯(cuò)誤，以及辨別的困難。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種可以提高標(biāo)示正確性的具有貼標(biāo)簽功能的下膜機(jī)。

本實(shí)用新型的下膜機(jī)可在該膜片上貼設(shè)至少一張標(biāo)簽，并且將裝載有一片晶圓的膜片自一個(gè)載板上卸下，該下膜機(jī)包含：一個(gè)作業(yè)平臺(tái)、一個(gè)可將該晶圓及該膜片自該載板上卸下的下膜單元，以及一個(gè)貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)。該作業(yè)平臺(tái)包括一個(gè)起始區(qū)域、一個(gè)下膜區(qū)域，以及一個(gè)介于該起始區(qū)域及該下膜區(qū)域間的標(biāo)簽貼孔，而裝載該晶圓及該膜片的載板由該起始區(qū)域被往該下膜區(qū)域移送，該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)包括一個(gè)標(biāo)簽印制器，以及一個(gè)將所印制的標(biāo)簽經(jīng)由該作業(yè)平臺(tái)的標(biāo)簽貼孔貼設(shè)在該膜片上的貼標(biāo)簽單元。

本實(shí)用新型所述的下膜機(jī)，該貼標(biāo)簽單元具有一個(gè)滑軌、一個(gè)安裝在該滑軌上的旋轉(zhuǎn)座、一個(gè)驅(qū)動(dòng)該旋轉(zhuǎn)座移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)件、一個(gè)安裝在該旋轉(zhuǎn)座上的頂撐壓缸，以及一個(gè)受到該頂撐壓缸驅(qū)動(dòng)而可將該標(biāo)簽貼設(shè)在該膜片上的標(biāo)簽貼座。

本實(shí)用新型所述的下膜機(jī)，還包含一個(gè)用來夾持該載板沿著一個(gè)第一方向前進(jìn)的夾具，該第一方向是由該作業(yè)平臺(tái)的起始區(qū)域往該下膜區(qū)域移動(dòng)，而該貼標(biāo)簽單元的驅(qū)動(dòng)件帶動(dòng)該旋轉(zhuǎn)座沿著一個(gè)第二方向移動(dòng)，該第二方向垂直于該第一方向。

本實(shí)用新型所述的下膜機(jī)，該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)還包括一個(gè)位在該作業(yè)平臺(tái)下方的基架，該基架具有一個(gè)供該貼標(biāo)簽單元的滑軌安裝的底板、一個(gè)供該標(biāo)簽印制器安裝的頂板，以及數(shù)支頂撐在該底板及該頂板間的撐桿。

本實(shí)用新型所述的下膜機(jī)，該作業(yè)平臺(tái)的標(biāo)簽貼孔鄰近該起始區(qū)域。

本實(shí)用新型所述的下膜機(jī)，該載板沿著一個(gè)第一方向移送，而該貼標(biāo)簽單元帶動(dòng)該標(biāo)簽沿著一個(gè)垂直于該第一方向的第二方向移送，并使該標(biāo)簽位在該作業(yè)平臺(tái)的標(biāo)簽貼孔的正下方。

本實(shí)用新型有益效果在于：由于該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)所產(chǎn)生的標(biāo)簽可以在下膜之前迅速且正確地黏貼在該膜片上，故本實(shí)用新型可以在晶圓剛送進(jìn)該下膜機(jī)時(shí)，就在承載該晶圓的膜片上黏貼該標(biāo)簽，通過前述結(jié)構(gòu)來提高黏貼標(biāo)簽時(shí)的正確性。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型下膜機(jī)的一個(gè)實(shí)施例的立體示意圖；

圖2是該實(shí)施例的一個(gè)前視示意圖，圖中該下膜機(jī)的一個(gè)貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)位在一個(gè)取簽位置；

圖3是一個(gè)類似圖2的前視示意圖，圖中該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)位在一個(gè)橫移位置；

圖4是一個(gè)類似圖2的前視示意圖，圖中該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)位在一個(gè)貼簽位置；

圖5是該較佳實(shí)施例的一個(gè)局部側(cè)視示意圖，說明在該貼簽位置時(shí)，該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)與一個(gè)加工組件的對(duì)應(yīng)關(guān)系。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。

參閱圖1、2，本實(shí)用新型下膜機(jī)的一個(gè)實(shí)施例可以在一個(gè)加工組件1上貼設(shè)至少一張標(biāo)簽10，并且進(jìn)行下膜的操作，該加工組件1包括一片具有一個(gè)承載孔111的載板11、一片黏貼在該載板11的底面的膜片12，以及一個(gè)暫時(shí)的黏貼在該膜片12上并對(duì)應(yīng)該載板11的承載孔111的晶圓13，為了方便辨識(shí)，該載板11通常貼設(shè)有一張條形碼112，而該下膜機(jī)可以讀取該條形碼112，并且將讀取的數(shù)據(jù)印制成該標(biāo)簽10，同時(shí)將該標(biāo)簽10貼設(shè)在該加工組件1的膜片12下方。