[實用新型]一種外延生長襯底有效
| 申請號： | 201420389433.6 | 申請日： | 2014-07-15 |
| 公開（公告）號： | CN204118106U | 公開（公告）日： | 2015-01-21 |
| 發明（設計）人： | 鄭錦堅;尋飛林;伍明躍;周啟倫;鄭建森;李水清;康俊勇 | 申請（專利權）人： | 廈門市三安光電科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/02 | 分類號： | H01L33/02;H01L33/20 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 361009 福建省廈*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 外延 生長 襯底 | ||
【權利要求書】：
1.一種外延生長襯底，包括襯底本體，其特征在于：所述襯底本體的底部中心具有塊狀凹槽，且所述塊狀凹槽在水平面的投影面積占襯底本體投影面積的40~60%。
2.根據權利要求1所述的一種外延生長襯底，其特征在于：所述塊狀凹槽的外邊緣形狀與襯底本體的外邊緣大體一致。
3.根據權利要求1所述的一種外延生長襯底，其特征在于：所述塊狀凹槽在水平面的投影圖形為圓形或三角形或正方形或五邊形或六邊形或八邊形或其它規則圖形。
4.根據權利要求1所述的一種外延生長襯底，其特征在于：所述塊狀凹槽在水平面的投影面積占襯底本體投影面積的50%。
5.根據權利要求1所述的一種外延生長襯底，其特征在于：所述襯底的基材為藍寶石或氮化鎵或碳化硅或硅或氮化鋁或氧化鋅。
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