[實用新型]一種由常通向常斷狀態轉換的固態電子開關

有效

• 申請號: 201420387513.8
• 申請日: 2014-07-14
• 公開（公告）號: CN204103884U
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 婁文忠;丁旭冉;趙越
• 申請（專利權）人: 北京理工大學
• 主分類號: H03K17/56
• 分類號: H03K17/56
• 代理公司: 北京萬象新悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11360
• 代理人: 王巖

1.一種由常通向常斷狀態轉換的固態電子開關，其特征在于，所述固態電子開關包括：襯底(1)、控制橋(2)、絕緣層(3)、金屬互聯(7)、被控橋(4)、鈍化層(5)、一對控制電極(21)焊盤(62)和一對被控電極(41)焊盤(64)；其中，控制橋(2)形成在襯底(1)上，包括一對控制電極(21)，以及連接二者的控制橋區(22)；絕緣層(3)覆蓋在控制橋(2)上；絕緣層(3)上與控制橋(2)的一對控制電極(21)正對的位置設置有多個通孔，形成通孔陣列；被控橋(4)形成在絕緣層(3)上，包括一對被控電極(41)，以及連接二者的被控橋區(42)；一對被控電極(41)與一對控制電極(21)的位置不重疊；被控橋區(42)覆蓋控制橋區(22)發生電爆的位置；鈍化層(5)形成在被控橋(4)上；在鈍化層(5)中，分別與一對控制電極(21)和一對被控電極(41)相對的地方設置有焊盤通孔，一對控制電極(21)焊盤(62)和一對被控電極(41)焊盤(64)分別通過焊盤通孔嵌入鈍化層(5)；金屬互聯(7)通過絕緣層(3)上的通孔陣列，將一對控制電極(21)分別與一對控制電極(21)焊盤(62)電學互聯；一對被控電極(41)分別與一對被控電極(41)焊盤(64)相接觸形成電學互聯；一對控制電極(21)焊盤(62)分別連接至控制電路的兩端；一對被控電極(41)焊盤(64)分別連接至被控電路的兩端。

2.如權利要求1所述的固態電子開關，其特征在于，所述控制橋(2)的厚度不超過2μm，長度不超過400μm。

3.如權利要求1所述的固態電子開關，其特征在于，所述被控橋(4)的厚度不超過2μm，長度不超過400μm。

4.如權利要求1所述的固態電子開關，其特征在于，所述控制橋(2)的控制橋區(22)，或者被控橋(4)的被控橋區(42)，形狀為矩形，寬度在2μm～40μm之間。

5.如權利要求1所述的固態電子開關，其特征在于，所述控制橋(2)的控制橋區(22)，或者被控橋(4)的被控橋區(42)，形狀為中間窄兩端寬的結構，并且為軸對稱的圖形，中間的最小寬度在2μm～40μm，兩端的最大的寬度在40μm～400μm。

6.如權利要求1所述的固態電子開關，其特征在于，所述鈍化層(5)的材料采用與CMOS工藝相兼容的絕緣抗氧化材料。

7.如權利要求1所述的固態電子開關，其特征在于，所述絕緣層(3)的厚度在0.5μm～2μm之間。