[實用新型]一種掃描電鏡用限高裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420383171.2
• 申請日: 2014-07-11
• 公開（公告）號: CN203949888U
• 公開（公告）日: 2014-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金鈺
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市美信檢測技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01N23/22
• 分類號: G01N23/22
• 代理公司: 深圳市君勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44268
• 代理人: 王永文;劉文求

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及檢測設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種掃描電鏡用限高裝置。

背景技術(shù)

在材料檢測領(lǐng)域，掃描電鏡是常用的檢測分析設(shè)備，在使用掃描電鏡前，需要將樣品固定到在載物臺上，并嚴格限定樣品的高度，目前主要使用掃描電鏡廠商配備的如圖1所示的高度規(guī)測量載物臺與樣品的高度。該高度規(guī)的垂直壁尺100正面設(shè)置有刻度110，該高度規(guī)測量樣品高度時，視線必須要與刻度線110平行，這一技術(shù)操作動作在測量大量樣品時會降低測量效率。而且由于掃描電鏡對樣品高度要求較為苛刻，若檢測人員在檢測高度時對齊刻度線的檢視動作不標準，就會造成所確定的樣品高度有偏差，就可能會影響后續(xù)的樣品檢測。

因此，現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進和發(fā)展。

實用新型內(nèi)容

鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型的目的在于提供一種掃描電鏡用限高裝置，旨在解決使用目前掃描電鏡用高度規(guī)確定樣品高度時不夠簡便快捷，測量高度數(shù)據(jù)易出錯的問題。

本實用新型的技術(shù)方案如下：

一種掃描電鏡用限高裝置，其中，所述裝置包括水平底座、與底座垂直連接的垂直壁、設(shè)置在所述垂直壁上用于標示樣品限高的水平擋板，所述垂直壁上設(shè)置有用于水平擋板整體穿過的槽孔，所述水平擋板通過該槽孔嵌設(shè)在垂直壁上。

所述的掃描電鏡用限高裝置，其中，所述水平擋板與所述槽孔接觸的兩側(cè)邊上設(shè)置有滑軌，所述槽孔的對應(yīng)槽壁設(shè)置有與所述滑軌配合使用的滑塊，通過所述滑軌與滑塊的配合實現(xiàn)水平擋板沿所述槽孔的水平滑動。

所述的掃描電鏡用限高裝置，其中，所述水平滑軌的兩端分別設(shè)置有限位塊，通過所述垂直壁對限位塊的阻擋作用對所述水平擋板沿槽孔的水平滑動進行限制。

所述的掃描電鏡用限高裝置，其中，所述水平擋板通過固定銷固定與垂直壁的連接，所述垂直壁對應(yīng)槽孔位置的的兩側(cè)邊上分別設(shè)置有用于固定銷插入的插孔，所述水平擋板的兩側(cè)邊上分別設(shè)置有用于固定銷插入的孔槽，通過對位所述插孔與孔槽并插入固定銷實現(xiàn)所述水平擋板與垂直壁的固定連接。

所述的掃描電鏡用限高裝置，其中，所述水平擋板上還設(shè)置有用于標示水平擋板移動位置的標簽，當所述水平擋板通過固定銷與垂直壁固定連接時，所述標簽邊沿與槽孔邊沿對齊。

所述的掃描電鏡用限高裝置，其中，所述標簽為長條狀標簽，該長條狀標簽一部分貼覆在水平擋板的頂面，另一部分貼覆在相鄰側(cè)邊上。

所述的掃描電鏡用限高裝置，其中，所述底座上設(shè)置有氣泡式水平儀。

所述的掃描電鏡用限高裝置，其中，所述水平擋板設(shè)置在距離所述底座底面45mm的高度位置。

有益效果：本實用新型提供一種掃描電鏡用限高裝置，通過在垂直壁上設(shè)置用于標示樣品限高的水平擋板，使得限高裝置能更明顯的顯示高度限制，在擋板上貼覆標簽使其清楚的顯示出擋板的細微移動，還通過設(shè)置水平儀保證限高裝置的水平狀態(tài)，最終使掃描電鏡用高度規(guī)能夠簡便快捷，準確的測量樣品高度數(shù)據(jù)。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有的掃描電鏡用高度規(guī)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實用新型具體實施例中掃描電鏡用限高裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為圖2中字母A的放大結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

本實用新型提供一種掃描電鏡用限高裝置，為使本實用新型的目的、技術(shù)方案及效果更加清楚、明確，以下對本實用新型進一步詳細說明。應(yīng)當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

如圖2所示一種掃描電鏡用限高裝置的具體實施例，其中，所述裝置包括水平底座220、與底座垂直連接的垂直壁210、設(shè)置在所述垂直壁上用于標示樣品限高的水平擋板230，所述垂直壁上設(shè)置有用于水平擋板整體穿過的槽孔，所述水平擋板通過該槽孔嵌設(shè)在垂直壁上。所述水平擋板與所述槽孔接觸的兩側(cè)邊上設(shè)置有滑軌231，所述槽孔的對應(yīng)槽壁設(shè)置有與所述滑軌配合使用的滑塊（圖中未給出），通過所述滑軌與滑塊的配合實現(xiàn)水平擋板沿所述槽孔的水平滑動。

掃描電鏡對于樣品高度的要求非常嚴格，使用上述水平擋板來標示樣品的限高，樣品可以直接本發(fā)明的限高裝置的水平擋板進行比較而不必采用水平目視方法來確定樣品高度是否滿足要求，使得高度測量和判斷更加便捷。

如圖3所示，所述水平滑軌的兩端還分別設(shè)置有限位塊234，通過所述垂直壁210對限位塊234的阻擋作用對所述水平擋板沿槽孔的水平滑動進行限制。這樣可以避免水平擋板移動幅度過大而脫出滑軌。