[實用新型]DLC膜沉積裝置

有效

• 申請號: 201420381551.2
• 申請日: 2014-07-01
• 公開（公告）號: CN203923367U
• 公開（公告）日: 2014-11-05
• 發明（設計）人: 勵春亞
• 申請（專利權）人: 象山星旗電器科技有限公司
• 主分類號: C23C16/26
• 分類號: C23C16/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及金屬鍍膜領域，尤其涉及一種DLC膜沉積裝置。

背景技術

類金剛石膜的低摩擦系數、耐磨性、化學惰性、生物相溶性等這些特點使其在金屬管內壁改性方面具有廣泛的工業應用前景。例如：抽油泵泵筒、輸油管道、汽車汽缸套，以及在軍事領域尤其是槍炮管、魚雷發射管等。由于外部等離子體鞘層的影響無法將等離子體送入細長金屬管內，如何在金屬管內形成均勻、高密度的等離子體并實現金屬管內表面改性是目前的一個技術難題。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供了一種DLC膜沉積裝置，所述裝置包括真空系統、作為陰極的待沉積的不銹鋼管、作為陽極的位于不銹鋼管中心軸上的鎢絲、用于包裹所述不銹鋼管和鎢絲的絕緣膜、電源，其中，所述真空系統上開設有氣體注入口、氣體排泄口、測量口以及監視窗。

所述真空系統中充有20Pa的甲烷和氬氣。

所述真空系統中甲烷的含量為40％。

所述陽極與電源連接，并通過電阻接地。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員而言，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型一實施例提供的DLC膜沉積裝置的結構示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

圖1為本實用新型一實施例提供的DLC膜沉積裝置的結構示意圖，如圖1所示，本實施例的一種DLC膜沉積裝置，將待鍍膜的內徑為10mm，外徑為13mm，長100mm的不銹鋼管2作為陰極放置于真空系統1中，在陰極的中心軸位置拉一根鎢絲作為陽極，為防止電極與真空室室壁之間的放電，整個電極用絕緣材料4包裹后放入真空系統中。通過氣體注入口5通入甲烷和氬氣混合氣體到20Pa(其中，甲烷含量為40％)，通過直流輝光放電在不銹鋼管內產生等離子體，陽離子向陰極移動，沉積在不銹鋼管上形成DLC膜。裝置還包括氣體排泄口6、監視窗7、測量口8，其中，所述氣體排泄口6用于在沉積完成后將氣體排出；所述監視窗7用于對真空系統進行監視；所述測量口8用于對注入的氣體壓力進行測量。

最后應說明的是：以上實施例僅用以說明本實用新型的技術方案，而非對其限制；盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領域的普通技術人員應當理解：其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特征進行等同替換，而這些修改或者替換，并不使相應技術方案的本質脫離本實用新型各實施例技術方案的精神和范圍。