[實用新型]一種雙端移動設備

有效

• 申請號: 201420380487.6
• 申請日: 2014-07-11
• 公開（公告）號: CN204039488U
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發明（設計）人: 王振東;何萬能
• 申請（專利權）人: 蘇州諾耀光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22;C23C14/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種移動設備，具體為一種雙端移動設備。

背景技術

在半導體相關制造過程中，許多的制程必須在真空狀態下進行，而真空濺鍍技術是真空薄膜制程中應用層面相當廣泛的一項重要技術，近年來已經逐漸取代噴導漆和電解電鍍的方式，大量應用在光電、通信、半導體等產業，成為重要的表面處理技術。而一般真空腔體所在的箱體為單面開門，給工作人員進行部件檢修和器件更換帶來不便，且在對腔體進行清潔和維護作業時也非常不方便。

實用新型內容

針對上述技術問題，本實用新型公開一種雙端移動設備，包括：真空腔體1以及與所述真空腔體1相連接的雙面開門裝置，所述雙面開門裝置包括主動輪組件2和從動輪組件3，所述主動輪組件2和從動輪組件3的下方均設置輕軌4，所述從動輪組件3上依次連接門移動架子5，所述門移動架子5通過焊接豎筋6連接斜拉件7，所述斜拉件7與真空腔體1相連接；所述門移動架子5通過橫向連桿與門板相連，所述門板下方設置固定架子8。?

本實用新型的有益效果是所述雙端移動設備能夠實現雙面開門，為產品安裝、更換部件提供了方便，且雙面開門更便于對真空腔體的清潔。

附圖說明

圖1是本實用新型所述雙端移動設備的結構側視圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型做進一步的詳細說明，以令本領域技術人員參照說明書文字能夠據以實施。

如圖所示，本實用新型公開一種雙端移動設備，包括：真空腔體1以及與所述真空腔體1相連接的雙面開門裝置，所述雙面開門裝置包括主動輪組件2和從動輪組件3，所述主動輪組件2和從動輪組件3的下方均設置輕軌4，所述從動輪組件3上依次連接門移動架子5，所述門移動架子5通過焊接豎筋6連接斜拉件7，所述斜拉件7與真空腔體1相連接；所述門移動架子5通過橫向連桿與門板相連，所述門板下方設置固定架子8。

盡管本實用新型的實施方案已公開如上，但其并不僅僅限于說明書和實施方式中所列運用，它完全可以被適用于各種適合本實用新型的領域，對于熟悉本領域的人員而言，可容易地實現另外的修改，因此在不背離權利要求及等同范圍所限定的一般概念下，本實用新型并不限于特定的細節和這里示出與描述的圖例。