[實用新型]液體電子化學品定量灌裝機

有效

• 申請號: 201420379809.5
• 申請日: 2014-07-10
• 公開（公告）號: CN204097058U
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 殷福華;朱永剛;朱龍;趙文虎
• 申請（專利權）人: 江陰江化微電子材料股份有限公司
• 主分類號: B67C3/30
• 分類號: B67C3/30
• 代理公司: 江陰大田知識產權代理事務所(普通合伙) 32247
• 代理人: 楊新勇

1.一種液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，包括凈化柜、傳輸機構、灌裝機構、貯箱；所述凈化柜的潔凈級數在100級以上，凈化柜下部兩側開設有進閘口和出閘口；所述傳輸機構包括用于傳輸包裝桶進出凈化柜的傳輸帶，傳輸帶從進閘口向出閘口延伸并從兩端延伸出凈化柜；所述灌裝機構位于凈化柜內，包括與貯箱連通的至少一支灌裝槍，灌裝槍上設有用于控制灌裝時間的延時開關，灌裝槍的出液口向下朝向傳輸帶；所述貯箱設有非接觸式的液位偵測控制裝置，液位偵測控制裝置電連接第一電磁閥，貯箱的進液管路上設有第一氣動隔膜調節閥，第一電磁閥設于第一氣動隔膜調節閥的氣源通道上。

2.根據權利要求1所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，所述延時開關包括第二氣動隔膜調節閥、第二電磁閥和延時器；其中，第二氣動隔膜調節閥設在灌裝槍管路上，第二電磁閥設在第二氣動隔膜調節閥的氣源通道上，第二電磁閥與延時器電連接；所述第一、第二氣動隔膜調節閥為氟塑料為內襯的氣動隔膜調節閥。

3.根據權利要求1所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，各所述貯箱連通多支灌裝槍，各灌裝槍設有相應的延時開關。

4.根據權利要求1至3任意一項所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，所述貯箱設于所述凈化柜外，貯箱設有氮封系統；所述氮封系統包括一端與所述貯箱頂部連通的進氣管和出氣管，進氣管上沿進氣方向依次設有調壓閥和進單向閥，出氣管上沿出氣方向依次設有出單向閥和呼吸閥；進氣管的另一端連接壓縮氣源，出氣管的另一端連通洗滌塔。

5.根據權利要求1至3任意一項所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，該灌裝機包括多個貯箱，所述貯箱為高位貯箱；各貯箱的進液管路與用于儲存液體電子化學品的貯罐連通，所述進液管路上沿進液方向依次設有輸送泵、過濾器及所述第一氣動隔膜調節閥。

6.根據權利要求5所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，各所述貯箱連通相同數量的灌裝槍，各貯箱的進液管路與用于貯存不同組分的貯罐連通。

7.根據權利要求1至3任意一項所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，所述灌裝機構還包括扣壓件和驅動機構；各灌裝槍與扣壓件相固定，驅動機構用于驅動扣壓件上下運動和控制各灌裝槍的下端抽出和伸入包裝桶，各灌裝槍的上端經軟管與所述貯箱連通；且各灌裝槍的下端在伸入包裝桶時，扣壓件下表面封住包裝桶開口，且扣壓件內設有與包裝桶內部連通的抽風口，抽風口連接抽風軟管，抽風軟管與設置于所述凈化柜外的抽風裝置連通。

8.根據權利要求1至3任意一項所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，所述凈化柜包括柜體和100潔凈級數以上的正壓送風系統；柜體的前端設有柜門口以及用于密封柜門口的配重移門，柜體的頂部設有進風口，正壓送風系統設在進風口處；所述正壓送風系統包括用于往所述柜體送風的風機和用于過濾進入所述柜體空氣的空氣過濾器。

9.根據權利要求8所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，所述空氣過濾器包括初效過濾器和高效過濾器，且所述風機位于初效過濾器和高效過濾器之間。

10.根據權利要求8所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，所述過濾器、所述貯箱位于所述凈化柜的后側的密封柜內，且所述過濾器位于所述貯箱的下方；所述配重移門為上下推拉式的配重移門，配重移門上設有透明的觀察窗。