[實(shí)用新型]一種擴(kuò)散泵油氣隔離冷井

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420377159.0
• 申請日: 2014-07-09
• 公開（公告）號: CN204107080U
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 霍凱;陳宥廷;李玉;徐全獻(xiàn)
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州凡特真空濺鍍科技有限公司
• 主分類號: B01D8/00
• 分類號: B01D8/00;F04F9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種油氣隔離防止回油裝置，具體為一種擴(kuò)散泵油氣隔離冷井。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中，在真空制程中使用真空擴(kuò)散泵已經(jīng)非常普遍，真空擴(kuò)散泵的原理是以加熱器將油加熱，加熱到一定溫度后，利用包覆原理，將氣體包覆帶走，從而達(dá)到去除油氣污染的目的，但是在油加熱的過程中，會有部分油氣揮發(fā)至真空腔體內(nèi)，影響了真空腔體的潔凈度，從而降低了工件品質(zhì)，而現(xiàn)有技術(shù)中油氣隔離的效果不是很好，油氣隔離效果慢，降低了抽氣效率，且不易實(shí)施，不便保養(yǎng)。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型公開一種擴(kuò)散泵油氣隔離冷井，包括：不銹鋼圓形腔體1、不銹鋼冷卻水S型管路2以及不銹鋼散熱鰭片3，所述不銹鋼冷卻水S型管路2設(shè)置在不銹鋼圓形腔體1的內(nèi)部空腔內(nèi)，所述不銹鋼散熱鰭片3設(shè)置在不銹鋼冷卻水S型管路2的上下層，并傾斜45度角度。

本實(shí)用新型的有益效果是通過所述擴(kuò)散泵油氣隔離冷井的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能夠有效隔離油氣，提高抽氣效率，且結(jié)構(gòu)簡單、保養(yǎng)簡單、成本較低。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型所述擴(kuò)散泵油氣隔離冷井的側(cè)面剖視圖；

圖2是本實(shí)用新型所述擴(kuò)散泵油氣隔離冷井的俯視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)說明，以令本領(lǐng)域技術(shù)人員參照說明書文字能夠據(jù)以實(shí)施。

如圖所示，本實(shí)用新型公開一種擴(kuò)散泵油氣隔離冷井，包括：不銹鋼圓形腔體1、不銹鋼冷卻水S型管路2以及不銹鋼散熱鰭片3，所述不銹鋼冷卻水S型管路2設(shè)置在不銹鋼圓形腔體1的內(nèi)部空腔內(nèi)，所述不銹鋼散熱鰭片3設(shè)置在不銹鋼冷卻水S型管路2的上下層，并傾斜45度角度。所述擴(kuò)散泵油氣隔離冷井的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能夠有效隔離油氣，提高抽氣效率，且結(jié)構(gòu)簡單、保養(yǎng)簡單、成本較低。

盡管本實(shí)用新型的實(shí)施方案已公開如上，但其并不僅僅限于說明書和實(shí)施方式中所列運(yùn)用，它完全可以被適用于各種適合本實(shí)用新型的領(lǐng)域，對于熟悉本領(lǐng)域的人員而言，可容易地實(shí)現(xiàn)另外的修改，因此在不背離權(quán)利要求及等同范圍所限定的一般概念下，本實(shí)用新型并不限于特定的細(xì)節(jié)和這里示出與描述的圖例。