[實用新型]一種掩模板

有效

• 申請號: 201420376204.0
• 申請日: 2014-07-08
• 公開（公告）號: CN203960317U
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發明（設計）人: 孫田雨;葉添昇;畢德鋒
• 申請（專利權）人: 上海天馬有機發光顯示技術有限公司;天馬微電子股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種掩模板，尤其涉及一種用于有機發光器件蒸鍍的金屬掩模板。

背景技術

有機發光二極管(OLED)顯示裝置的特性是自發光，不像液晶顯示器(LCD)需要背光，因此可視度和亮度均高，其次是電壓需求低且省電效率高，加上反應快、重量輕、高度薄，構造簡單，成本低等，被視為21世紀最具前途的產品之一。

OLED利用電激發的有機熒光化合物發光，其具有陰極和陽極，二者中間有由有機化合物組成的有機膜。當向陰極、陽極上施加電壓時，施加正電壓的電極中，空穴通過空穴傳輸層(HTL)遷移到有機發光區，施加負電壓的電極中，電子通過電子傳輸層(ETL)遷移到有機發光區，空穴和電子在有機發光區中發生復合產生激子，激子被激發后發出光，為OLED顯示提供光源。

一般而言，OLED器件中的有機材料通常采用蒸鍍工藝實現，隨著OLED手機屏幕尺寸的增大，為提高生產效率，蒸鍍用金屬掩模板的尺寸也不斷增大，如何提高蒸鍍精度是工藝上面臨的一個重要問題。

發明內容

本實用新型為了解決上述現有技術存在的問題，提供了一種掩模板，包含：第一子掩模板；第二子掩模板，與所述第一子掩模板交叉；所述第一子掩模板在與所述第二子掩模板交叉區域，設置有第一凹槽，所述第一凹槽能收納第二子掩模板。

可選地，第二子掩模板在與所述第一子掩模板交叉處，設置有第二凹槽，所述第二凹槽與所述第一凹槽配合，收納所述第一子掩模板。

可選地，第一凹槽和所述第二凹槽高度之和等于所述第一子掩模板和所述第二子掩模板高度之和的二分之一。

可選地，第一凹槽和所述第二凹槽中的的至少一個平面是不平整表面。

可選地，第一凹槽或所述第二凹槽的截面，至少有一條邊為斜線或臺階狀或曲線。

可選地，第一凹槽或所述第二凹槽的截面形狀為楔形。

可選地，楔形的斜邊與水平邊的夾角為45°-70°。

可選地，還包含框架，第一子掩模板和第二子掩模板的兩端固定在所述框架上。

可選地，第一凹槽或/和所述第二凹槽的高度范圍為10-60μm。

可選地，第一凹槽的寬度范圍為2-20mm或/和所述第二凹槽的寬度范圍為10-30mm。

可選地，第一凹槽或所述第二凹槽采用半刻蝕的方法制成。

可選地，掩模板還包含第三子掩模板，所述第三子掩模板覆蓋于第一子掩模板和所述第二子掩模板上方。

可選地，有機層采用上述的掩模板蒸鍍制成。

本實用新型還包括一種有機發光顯示面板，包含有機層，其特征在于，所述有機層是采用上述掩模板制成的。

本實用新型具有如下一種或多種的技術效果：

1、通過在交叉處設置凹槽，使得交叉處的總高度降低，與非交叉處的高度保持平齊，這樣能夠提高掩模板鋪設的平坦度，提高張網精度，提高蒸鍍良率。

2、通過楔形設計，提高遮蔽掩模板和支撐掩模板的組裝精度，減少框架機械加工精度低的風險。

3、通過凹槽的不平整表面設計，確保遮蔽掩模板和支撐掩模板不發生移位，保證組裝穩定性。

附圖說明

圖1為現有技術的掩模板結構俯視圖示意圖；

圖2a為圖1中A-A’的剖視圖；

圖2b為圖1中B-B’的剖視圖；

圖2c為圖1中C-C’的剖視圖；

圖3為本實用新型一實施例提供的掩模板結構俯視圖示意圖；

圖4為本實用新型一實施例提供的掩模板結構俯視圖示意圖；

圖5a為本實用新型圖3中D-D’的剖視圖；

圖5b為本實用新型一實施例提供的掩模板結構剖視圖；

圖5c為本實用新型圖3中E-E’的剖視圖；

圖5d為本實用新型一實施例提供的掩模板結構剖視圖；

圖6a為本實用新型一實施例提供的掩模板結構的剖視圖；

圖6b為本實用新型一實施例提供的掩模板結構的剖視圖；

圖7a為本實用新型一實施例提供的掩模板結構的剖視圖；

圖7b為本實用新型一實施例提供的掩模板結構的剖視圖；

圖8a為本實用新型一實施例提供的掩模板結構的剖視圖；

圖8b為本實用新型一實施例提供的掩模板結構的剖視圖；

圖9a為本實用新型一實施例提供的掩模板結構的剖視圖；

圖9b為本實用新型一實施例提供的掩模板結構的剖視圖。