[實用新型]一種旋轉靶材自轉傳動組件有效
| 申請號： | 201420376005.X | 申請日： | 2014-07-09 |
| 公開（公告）號： | CN204134845U | 公開（公告）日： | 2015-02-04 |
| 發明（設計）人： | 羅文富 | 申請（專利權）人： | 廈門映日新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | B05C13/02 | 分類號： | B05C13/02;F16H1/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 361101 福建省廈門市同安區*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 旋轉 自轉 傳動 組件 | ||
【權利要求書】：
1.一種旋轉靶材自轉傳動組件，其特征在于：包括水冷電機（1）、第一斜齒輪（2）、第二斜齒輪（3）、軸承（4）、軸承座（5）和靶材芯軸（6），所述水冷電機（1）、第一斜齒輪（2）、第二斜齒輪（3）、軸承（4）、軸承座（5）、靶材芯軸（6）均設置在真空腔體內，所述水冷電機（1）通過轉軸（11）與所述第一斜齒輪（2）傳動連接，所述第一斜齒輪（2）與第二斜齒輪（3）相互嚙合傳動連接，所述靶材芯軸（6）通過所述軸承（4）固定在軸承座（5）上且與所述第二斜齒輪（3）傳動連接。
2.根據權利要求1所述的一種旋轉靶材自轉傳動組件，其特征在于：所述軸承（4）的材質為304不銹鋼。
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