[實用新型]用于絲鋸裝置的馬達單元和絲鋸裝置

有效

• 申請號: 201420375658.6
• 申請日: 2014-07-08
• 公開（公告）號: CN204054378U
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發明（設計）人: A·米塔茲;A·施密特;C·O·布盧姆
• 申請（專利權）人: 應用材料瑞士有限責任公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖

技術領域

本實用新型的實施方式涉及用于絲鋸的馬達單元，且涉及使用馬達單元的絲鋸裝置。本實用新型尤其涉及用于光生伏打和/或半導體應用，或其他電子設備應用(諸如用于顯示器生產的藍寶石晶體)的馬達單元和使用馬達單元的絲鋸裝置。

背景技術

絲鋸裝置用于光生伏打和/或半導體工業中，其中對于所述兩個應用，半導體或半導體材料使用絲鋸裝置切割。舉例來說，絲鋸將半導體工件切割成順應于進一步處理的形狀，例如，將硅鑄錠切割成晶片、磚狀物或正方形。

對于許多應用，晶片或切片有著相對于鑄錠的橫截面或直徑極小的厚度。晶片因此實質上是柔性的且可撓曲和彎曲以與相鄰的切片進行接觸。這一撓曲對于切割的精確度和平坦度是不期望的，且可引起鋸切的片的表面上的起伏、條紋和不期望的不規則。對于某些應用，諸如對于許多太陽能和半導體應用，這些不規則(即便是幾微米的不規則)足以使得切片不能使用。切片的變形甚至可能導致微小的破裂和破損，尤其是接近耦合點，在耦合點處切片連接至切片的支撐件。

晶片加工半導體鑄錠的所屬技術領域中的問題是如何在沒有不規則的情況下維持均勻的薄切片。這一問題轉化為提供切割元件(也就是，絲線和/或絲線導向元件)的位置和移動兩者的穩定性。具體來說，絲線移動的均勻性和穩定性隨著時間受到驅動絲線的馬達和從馬達至絲線圓筒的機械鏈中的軸承的影響，這將影響作為切割元件的絲線的位置和移動的穩定性和精確度。

絲鋸裝置的機械部件要遭受網中的大量絲線纏繞產生的高的力和扭矩的影響，每一纏繞對馬達、軸承及其他部件上的負載產生一定量的力。同時，機械負載傾向于引起摩擦且產生熱量，例如，在滾動的軸承中，所述摩擦和熱量與驅動系統的相當高的轉速一起可導致機械零件的疲勞和最后故障。疲勞和機械應力也可削弱金屬零件和金屬零件的表面且可因此導致生產工藝中精確度的損失。

鑒于以上內容，存在對具有增強的持久性和長期穩定性的絲鋸裝置和絲鋸裝置部件的需要，確保具有高精確度和可靠性的長期操作，同時具有低的擁有總成本。

實用新型內容

實施方式提供用于絲鋸裝置的馬達單元，所述馬達單元包括外殼、可旋轉地提供于外殼中的軸、具有定子和轉子的馬達，所述定子固定至所述外殼，其中所述轉子安裝至所述軸且具有與所述軸相同的旋轉軸，且其中所述軸和所述馬達位于所述外殼中。

另一實施方式提供絲鋸裝置，所述絲鋸裝置包括馬達單元，所述馬達單元包含外殼、可旋轉地提供于外殼中的軸、具有定子和轉子的馬達，所述定子固定至所述外殼，其中所述轉子安裝至所述軸且具有與所述軸相同的旋轉軸，且其中所述軸和所述馬達位于所述外殼中。

進一步的優點、特征、方面和細節從從屬權利要求、說明書和附圖中顯而易見。

附圖說明

以可詳細理解本實用新型的上述特征的方式，通過參考實施例獲得上文簡要概述的更具體的描述。附圖涉及實施方式，如以下描述的：

圖1圖示根據本文描述的實施方式的馬達單元；

圖2圖示根據本文描述的進一步實施方式的馬達單元；

圖3圖示根據本文描述的進一步實施方式的馬達單元；

圖4圖示根據本文描述的實施方式的絲鋸裝置的透視側視圖；

圖5圖示根據本文描述的實施方式的絲鋸裝置的頂視圖。

具體實施方式

現在將詳細參閱各種實施方式，各種實施方式中的一個或多個示例圖示在圖中。每一示例以解釋說明的方式提供且不意味著限制。進一步來說，被圖示或描述為一個實施方式的部分的特征可用于其他實施方式上或連同其他實施方式一起使用以產生又一實施方式。描述旨在包括這類修改和改變。

本文中，“絲鋸”、“絲鋸裝置”、“絲線鋸切裝置”和“絲線切割裝置”可交換使用。本文中，術語“鋸切”和“切割”可交換使用；且“晶片切割絲鋸”和“壓片機”可交換使用。本文中，“鑄錠”可包含一個或多個分離的半導體件，例如，多個半導體件。本文中，“鑄錠”廣泛地用于表示在晶片鋸切中待鋸切的至少一個較大的工件或未切割的元件?！拌T錠”可與“塊”交換使用。本文中，“半導體”是指半導體材料，諸如(例如)光生伏打工業中使用的那些半導體材料。進一步來說，鑄錠也可包含其他類型的材料，尤其是晶體，諸如(例如)用于顯示器生產中的藍寶石晶體，或類似的材料。

本文中，“絲線導向器圓筒”、“絲線導向器”、“導向器圓筒”和“圓柱形絲線導向器”可交換使用。絲線導向器(所述絲線導向器一般為圓柱形且圍繞圓柱軸旋轉)有時稱為輥、圓筒和絲線導向器圓筒。