[實用新型]具有保護層的干刻蝕外蓋結構有效
| 申請號： | 201420375228.4 | 申請日： | 2014-07-08 |
| 公開（公告）號： | CN203941940U | 公開（公告）日： | 2014-11-12 |
| 發明（設計）人： | 林士青;黃繡智;陳宜杰;羅世欣 | 申請（專利權）人： | 聚昌科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019 | 代理人： | 壽寧;張華輝 |
| 地址： | 中國臺灣新竹縣*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 保護層 刻蝕 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種具有保護層的干刻蝕外蓋結構，其特征在于包括：
外蓋本體，其具有多個刻蝕孔，該外蓋本體遮蓋在多個干刻蝕目標物上方，并自每一個該刻蝕孔露出一個該干刻蝕目標物；以及
保護層，形成于該外蓋本體的表面及每一個該刻蝕孔的孔壁。
2.根據權利要求1所述的干刻蝕外蓋結構，其特征在于該外蓋本體為金屬、合金或金屬化合物。
3.根據權利要求1所述的干刻蝕外蓋結構，其特征在于該外蓋本體進一步具有凸出部，自該外蓋本體對著承載該干刻蝕目標物的拖盤的方向延伸。
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