[實(shí)用新型]一種隨工件運(yùn)動(dòng)的在位動(dòng)態(tài)監(jiān)控膜厚的真空光學(xué)鍍膜機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420374888.0
• 申請(qǐng)日: 2014-07-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204111863U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李志榮;李志方;羅志明;陸創(chuàng)程
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞市匯成真空科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/54
• 分類號(hào): C23C14/54
• 代理公司: 廣州知友專利商標(biāo)代理有限公司 44104
• 代理人: 周克佑;何秋林

1.一種隨工件運(yùn)動(dòng)的在位動(dòng)態(tài)監(jiān)控膜厚的真空光學(xué)鍍膜機(jī)，包括爐體、轉(zhuǎn)軸、工件轉(zhuǎn)架、轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、晶振探頭和膜厚控制儀主機(jī)，所述爐體由爐壁、爐體底盤和爐體頂板組成，轉(zhuǎn)軸豎向安裝在爐體中部，上、下端分別與所述爐體頂板、爐體底盤密封安裝，轉(zhuǎn)軸上端穿出所述爐體頂板，膜厚控制儀主機(jī)位于所述爐體頂板上方安裝在所述轉(zhuǎn)軸上端，工件轉(zhuǎn)架安裝在所述轉(zhuǎn)軸上位于爐體內(nèi)部，晶振探頭安裝在所述工件轉(zhuǎn)架上，其電導(dǎo)線和信號(hào)線密封穿出所述爐體與所述膜厚控制儀主機(jī)相連，其冷卻水回路密封穿出所述爐體與連接外部供回水系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)接頭相連，轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)從爐體外部與所述轉(zhuǎn)軸相連并驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述工件轉(zhuǎn)架、膜厚控制儀主機(jī)及晶振探頭隨所述轉(zhuǎn)軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)；

其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸的上部和下部?jī)?nèi)部均有中空的腔體，所述晶振探頭的電導(dǎo)線和信號(hào)線從所述轉(zhuǎn)軸的上部的所述中空的腔體中密封穿出所述爐體，所述冷卻水回路從所述轉(zhuǎn)軸的下部的所述中空的腔體中密封穿出所述爐體，即實(shí)現(xiàn)水電的分開(kāi)傳送。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隨工件運(yùn)動(dòng)的在位動(dòng)態(tài)監(jiān)控膜厚的真空光學(xué)鍍膜機(jī)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸由從下向上依次相連的下傳動(dòng)軸、向上傳動(dòng)連接件、萬(wàn)向聯(lián)軸器、上延伸轉(zhuǎn)軸和上傳動(dòng)軸組成，所述中空的腔體位于所述下傳動(dòng)軸和上傳動(dòng)軸內(nèi)部，所述工件轉(zhuǎn)架安裝在所述下傳動(dòng)軸上，所述轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述下傳動(dòng)軸穿出所述爐體底盤的下端相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求2的所述隨工件運(yùn)動(dòng)的在位動(dòng)態(tài)監(jiān)控膜厚的真空光學(xué)鍍膜機(jī)，其特征在于，所述下傳動(dòng)軸內(nèi)部的中空的腔體靠近其上端面的一段直徑增大，為擴(kuò)大腔，所述向上傳動(dòng)連接件的底面密封地固定在所述下傳動(dòng)軸的上端面上，所述向上傳動(dòng)連接件的底面具有伸入所述擴(kuò)大腔的分隔環(huán)，所述下傳動(dòng)軸內(nèi)部的中空的腔體中設(shè)置有一根進(jìn)水管，所述進(jìn)水管外壁與所述下傳動(dòng)軸內(nèi)部的中空的腔體的內(nèi)壁之間形成環(huán)形回水道，所述進(jìn)水管的上端伸入所述分隔環(huán)內(nèi)部，其外壁與所述分隔環(huán)的內(nèi)壁之間通過(guò)動(dòng)密封結(jié)構(gòu)相連，使在所述分隔環(huán)內(nèi)部形成進(jìn)水腔，并在所述擴(kuò)大腔與所述分隔環(huán)之間形成回水腔，所述向上傳動(dòng)連接件上還開(kāi)有分別與所述進(jìn)水腔和所述回水腔連通的兩個(gè)通道，并通過(guò)這兩個(gè)通道分別與所述晶振探頭的進(jìn)水管路和回水管路相連，所述進(jìn)水管的下端及所述下傳動(dòng)軸內(nèi)部的中空的腔體的下端口與所述旋轉(zhuǎn)接頭相連。

4.根據(jù)權(quán)利要求3的所述隨工件運(yùn)動(dòng)的在位動(dòng)態(tài)監(jiān)控膜厚的真空光學(xué)鍍膜機(jī)，其特征在于，所述動(dòng)密封結(jié)構(gòu)由從上至下依次設(shè)置的壓墊、動(dòng)密封、傳動(dòng)隔圈、深溝球軸承、傳動(dòng)隔圈、動(dòng)密封、壓墊組成，該動(dòng)密封結(jié)構(gòu)上端由位于所述分隔環(huán)內(nèi)壁上的環(huán)形凸緣、下端由安裝在所述分隔環(huán)開(kāi)口端內(nèi)壁的壓緊塞壓緊在所述分隔環(huán)內(nèi)部。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的隨工件運(yùn)動(dòng)的在位動(dòng)態(tài)監(jiān)控膜厚的真空光學(xué)鍍膜機(jī)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由電機(jī)和同步輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)組成。

6.根據(jù)權(quán)利要求2~5任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的隨工件運(yùn)動(dòng)的在位動(dòng)態(tài)監(jiān)控膜厚的真空光學(xué)鍍膜機(jī)，其特征在于，所述膜厚控制儀主機(jī)的電源端通過(guò)銅環(huán)-碳刷機(jī)構(gòu)與外電相連，所述銅環(huán)-碳刷機(jī)構(gòu)具有三個(gè)銅環(huán)和三個(gè)碳刷，三個(gè)所述銅環(huán)圍繞所述上傳動(dòng)軸同心設(shè)置，三個(gè)所述碳刷與三個(gè)所述銅環(huán)一一相對(duì)，碳刷在其后端彈簧的彈力作用下前端抵在所述銅環(huán)上；

所述銅環(huán)安裝在所述上傳動(dòng)軸上隨上傳動(dòng)軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)，所述碳刷位置固定地安裝在所述爐體頂板上方，所述膜厚控制儀主機(jī)的電源端與所述銅環(huán)相連，通過(guò)所述碳刷與外電相連；

或所述碳刷安裝在所述上傳動(dòng)軸上隨上傳動(dòng)軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)，所述銅環(huán)位置固定地安裝在所述爐體頂板上方且與之絕緣，所述膜厚控制儀主機(jī)的電源端與所述碳刷相連，通過(guò)所述銅環(huán)與外電相連。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的隨工件運(yùn)動(dòng)的在位動(dòng)態(tài)監(jiān)控膜厚的真空光學(xué)鍍膜機(jī)，其特征在于，所述銅環(huán)和碳刷由一安裝在所述爐體頂板上的保護(hù)罩罩住。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的隨工件運(yùn)動(dòng)的在位動(dòng)態(tài)監(jiān)控膜厚的真空光學(xué)鍍膜機(jī)，其特征在于，所述膜厚控制儀主機(jī)通過(guò)WiFi無(wú)線傳輸模塊與位于爐體附近的計(jì)算機(jī)通訊。