[實用新型]一種4寸靜電卡盤

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420373827.2
• 申請日: 2014-07-05
• 公開（公告）號: CN203983252U
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發(fā)明（設計）人: 游利
• 申請（專利權）人: 靖江先鋒半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 靖江市靖泰專利事務所 32219
• 代理人: 陸平

1.一種4寸靜電卡盤，包括圓柱形負電極基體（1）、正電極卡盤基座（2）、絕緣套（3）、負極導電柱（4）、水道密封蓋板（5），其特征在于：所述的正電極卡盤基座（2）內部設置有圓柱形負電極基體（1），正電極卡盤基座（2）右側設置有水道密封蓋板（5）；圓柱形負電極基體（1）通過絕緣套（3）、絕緣螺絲、負極導電柱（4）與正電極卡盤基座（2）連接。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種4寸靜電卡盤，其特征在于：所述的圓柱形負電極基體（1）為圓柱體，圓柱形負電極基體（1）右側設置有裝載晶片的平面A（1-1）；圓柱形負電極基體（1）左側平面上由內到外依次設置有中心位置的通孔、涂絕緣膠的溝槽（1-2）、在圓周上均布的4個螺紋孔、涂絕緣膠的溝槽（1-2），4個螺紋中3個為用于裝配時定位和固定用的孔（1-3），1個為導電孔（1-4）。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種4寸靜電卡盤，其特征在于：所述的正電極卡盤基座（2）為階梯軸，階梯軸小端平面上設置有裝載晶片的平面B（2-1）,裝載晶片的平面B（2-1）上由內到外依次設置有圓周均布的通氦氣直孔（2-4）、環(huán)形槽；裝載晶片的平面B（2-1）右側平面中心設置有盲孔，盲孔的圓柱面上設置有通氦氣斜孔（2-3），通氦氣斜孔（2-3）與裝載晶片的平面B（2-1）相通；裝載晶片的平面B（2-1）右側平面上設置有環(huán)形槽，環(huán)形槽內設置有加熱冷卻水道（2-2）。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種4寸靜電卡盤，其特征在于：所述的絕緣套（3）為階梯軸，階梯軸小端圓柱面為與正電極卡盤基座緊配的外層（3-1）；絕緣套（3）內設置有通孔（3-2）。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種4寸靜電卡盤，其特征在于：所述的負極導電柱（4）為階梯軸，階梯軸小端為與圓柱形負電極基體（1）連接的螺紋部分（4-1），階梯軸大端為接電部分（4-2）。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種4寸靜電卡盤，其特征在于：所述的水道密封蓋板（5）為階梯軸，階梯軸大端平面上設置有數(shù)個圓周均布的固定用孔（5-2）；水道密封蓋板（5）內部設置有階梯孔；水道密封蓋板（5）左側由內到外依次設置有密封面（5-1）、環(huán)形槽、密封面（5-1），環(huán)形槽內設置有進水孔（5-3）、出水孔（5-4），進水孔（5-3）與出水孔（5-4）的中心在同一直徑的圓上且對稱布置，進水孔（5-3）與出水孔（5-4）之間的夾角為β，夾角β設置為直角。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種4寸靜電卡盤，其特征在于：所述的圓柱形負電極基體（1）的材質采用6061鋁合金。

8.根據(jù)權利要求1所述的一種4寸靜電卡盤，其特征在于：所述的正電極卡盤基座（2）和水道密封蓋板（5）的材質均采用鋁合金。

9.根據(jù)權利要求1所述的一種4寸靜電卡盤，其特征在于：所述的絕緣套（3）的材質采用杜邦材料。

10.根據(jù)權利要求1所述的一種4寸靜電卡盤，其特征在于：所述的負極導電柱（4）的材質采用無氧銅，加工后表面鍍銀鍍金。