[實(shí)用新型]一種可調(diào)節(jié)滾涂厚度的除塵滾涂機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420371666.3
• 申請(qǐng)日: 2014-07-07
• 公開（公告）號(hào): CN203935967U
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁泰頻;何公明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波東盛集成電路元件有限公司
• 主分類號(hào): B05C1/08
• 分類號(hào): B05C1/08;B05C11/02
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 杜軍

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于加工設(shè)備，尤其涉及一種金屬蝕刻片加工過程中的金屬片材可調(diào)節(jié)滾涂厚度的除塵滾涂機(jī)。

背景技術(shù)

金屬蝕刻片是將金屬片材經(jīng)化學(xué)浸濕后得到的帶有預(yù)定圖文的金屬結(jié)構(gòu)，其被廣泛的應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域以及用做外觀裝飾件。

現(xiàn)有的金屬蝕刻片加工方法，一般是通過在金屬片材上滾涂光膠，隨后通過帶有預(yù)設(shè)圖案的光罩進(jìn)行曝光使金屬片材上留下圖案化的光膠膜，隨后通過化學(xué)浸蝕，將金屬片材上沒有覆蓋光膠膜的部分腐蝕，留下的部分則形成金屬蝕刻片。

光膠的滾涂直接關(guān)系到最終獲得金屬蝕刻片的圖紋精度，現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行光膠滾涂時(shí)可能造成光膠厚薄不均，較厚的區(qū)域在后續(xù)曝光過程中形成的圖案化的光膠膜中無法被去除，造成最終產(chǎn)品上出現(xiàn)錯(cuò)誤。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有的光膠滾涂技術(shù)存在的上述問題，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案的主要目的是：提供一種可實(shí)現(xiàn)光膠滾涂厚度均勻的可調(diào)節(jié)滾涂厚度的除塵滾涂機(jī)。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下的技術(shù)方案：

一種可調(diào)節(jié)滾涂厚度的除塵滾涂機(jī)，其中，包括：

滾子，用于向一平面滾涂光膠；

設(shè)置于滾子軸向的第一刮板，用以刮平所述平面上的光膠；

設(shè)置于所述第一刮板與所述滾子之間的第二刮板，用以刮除所述滾子上的光膠；

所述第二刮板位置高于所述第一刮板；

所述第一刮板通過一可定位的鉸鏈連接于所述滾子一側(cè)；

還包括噴氣口，設(shè)置于所述滾子背向所述第一刮板的一側(cè)，所述噴氣口連接一可控制的壓縮空氣源。

本實(shí)用新型的另一方面，所述第一刮板上設(shè)有光膠流道，用以將光膠引入預(yù)定位置。

本實(shí)用新型的另一方面，所述第二刮板上設(shè)有導(dǎo)流孔，所述導(dǎo)流孔使所述第二刮板上的光膠流淌至所述第一刮板的所述光膠流道中。

本實(shí)用新型的另一方面，所述光膠流道為一斜槽。

本實(shí)用新型的另一方面，所述預(yù)定位置為一光膠回收容器。

通過對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案的實(shí)施，可以獲得以下技術(shù)效果：

1，第二刮板可刮除殘留在滾子上的光膠，防止殘留在滾子上的光膠滴落造成厚度不均；

2，噴氣口可在滾涂同時(shí)吹走滾子前進(jìn)方向上的細(xì)微顆粒；

3，第一刮板可刮平金屬片材上的光膠層，并控制光膠層的厚度；

4，第二刮板上的導(dǎo)流孔和第一刮板上的光膠流道可收集第一刮板和第二刮板上刮下的光膠，防止光膠滴落，并可將收集的光膠回收。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的可調(diào)節(jié)滾涂厚度的除塵滾涂機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的光膠流道的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下通過具體的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行說明，在與本實(shí)用新型的實(shí)用新型目的無沖突的前提下，下文中提到的實(shí)施例以及實(shí)施例中的技術(shù)特征可以相互組合。

如圖1和圖2所示，本實(shí)用新型提供一種可調(diào)節(jié)滾涂厚度的除塵滾涂機(jī)，其中，包括：

滾子1，用于向一平面0滾涂光膠；

設(shè)置于滾子1軸向的第一刮板2，用以刮平平面0上的光膠；

設(shè)置于第一刮板2與滾子之間的第二刮板3，用以刮除滾子1上的光膠；

第二刮板3位置高于第一刮板1；

第一刮板2通過一可定位的鉸鏈22連接于滾子1一側(cè)；

還包括噴氣口4，設(shè)置于滾子1背向第一刮板2的一側(cè)，噴氣口4連接一可控制的壓縮空氣源（未于圖中示出）。

上述技術(shù)方案中，滾子1粘附光膠并通過在平面0上按預(yù)定方向滾動(dòng)將光膠滾涂至平面0上，第一刮板2設(shè)置于背向滾子1滾動(dòng)方向的一側(cè)，用于將滾子1滾動(dòng)進(jìn)過的平面上的光膠層刮平，防止光膠厚度不均，第二刮板3設(shè)置于第一刮板2與滾子1之間，用于刮除滾子1上多余的光膠，防止光膠聚集并滴落到平面0上。第一刮板2可通過鉸鏈22調(diào)節(jié)與平面0之間的距離，從而實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)滾涂的厚度。噴氣口4可將壓縮空氣源產(chǎn)生的壓縮空氣噴出，由于噴氣口4設(shè)置在滾子1滾動(dòng)方向的一側(cè)，因此噴氣口4可在滾子1滾動(dòng)過程中吹走滾子1前進(jìn)方向上的細(xì)小顆粒，從而可防止平面0上的細(xì)小顆粒或者空氣中的細(xì)小顆粒對(duì)粘附在平面0上造成光膠層在后續(xù)曝光過程中存在缺陷。其中，平面0為金屬片材。

本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中，第一刮板2上設(shè)有光膠流道21，用以將聚集在第一刮板2上的光膠引入預(yù)定位置。

本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中，第二刮板3上設(shè)有導(dǎo)流孔31，導(dǎo)流孔31使聚集在第二刮板3上的光膠流淌至第一刮板2的光膠流道21中。