[實用新型]絲線導向器監視裝置和絲鋸

有效

• 申請號: 201420366308.3
• 申請日: 2014-07-03
• 公開（公告）號: CN204036679U
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發明（設計）人: C·佐米尼
• 申請（專利權）人: 應用材料瑞士有限責任公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 徐偉

1.一種用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，所述裝置包含：?

用于測量絲線導向器的表面特征的光學傳感器裝置(510)，和?

用于耦合所述絲線導向器監視裝置至所述絲鋸的鑄錠供應系統的運動學機械結構的耦合元件(530)。?

2.如權利要求1所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述裝置進一步包含配置用于執行所述光學傳感器裝置(510)相對于所述耦合元件(530)移動的至少一個致動器(540)。?

3.如權利要求2所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述光學傳感器裝置(510)包含用于引導所述光學傳感器裝置(510)相對于所述耦合元件(530)移動的至少一個導軌。?

4.如權利要求2或3所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述致動器為線性致動器，所述線性致動器經布置使得在所述絲線導向器監視裝置的耦合狀態下可執行所述光學傳感器裝置在絲線導向器的縱軸方向中的線性移動。?

5.如權利要求2或3所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述致動器具有至少250mm的定位范圍。?

6.如權利要求2或3所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述致動器具有至少400mm的定位范圍。?

7.如權利要求2或3所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述致動器具有最大10μm的最小增量運動距離。?

8.如權利要求2或3所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述致動器具有最大5μm的最小增量運動距離。?

9.如權利要求1至3中任一項所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述傳感器裝置(510)包含輻射源(512)和光學傳感器(511)。?

10.如權利要求9所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述輻射源(512)為相對于所述光學傳感器(511)布置。?

11.如權利要求9所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置，其特征在于，?所述傳感器裝置為叉型傳感器。?

12.如權利要求1至3中任一項所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述傳感器裝置具有至少100mm的感測槽寬(W)。?

13.如權利要求1至3中任一項所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(500)，其特征在于，所述傳感器裝置具有至少150mm的感測槽寬(W)。?

14.如權利要求1至3中任一項所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(10)，其特征在于，所述傳感器裝置具有至少20mm的感測槽深(D)。?

15.如權利要求1至3中任一項所述的用于絲鋸的絲線導向器監視裝置(10)，其特征在于，所述傳感器裝置具有至少40mm的感測槽深(D)。?

16.一種絲鋸(100)，所述絲鋸包含二個絲線導向器圓筒和根據權利要求1至3中任一項所述的絲線導向器監視裝置(500)。?

17.如權利要求16所述的絲鋸(100)，其特征在于，所述絲鋸包含配置用于耦合鑄錠和所述絲線導向器監視裝置的耦合元件。?

18.一種絲鋸(100)，所述絲鋸包含至少二個絲線導向器圓筒、配置用于耦合鑄錠和絲線導向器監視裝置的耦合元件和絲線導向器監視裝置(500)，所述絲線導向器監視裝置(500)包含：用于測量絲線導向器的表面特征的光學傳感器裝置(510)，用于耦合所述絲線導向器監視裝置至所述絲鋸的鑄錠供應系統的運動學機械結構的耦合元件(530)和配置用于執行所述光學傳感器裝置(510)相對于所述耦合元件(530)移動的至少一個致動器(540)，其中所述傳感器裝置(510)包含輻射源(512)和光學傳感器(511)。?

19.如權利要求18所述的絲鋸(100)，其特征在于，所述輻射源(512)相對于所述光學傳感器(511)布置。?

20.如權利要求18或19所述的絲鋸(100)，其特征在于，所述傳感器裝置為叉型傳感器。?