[實用新型]氮氣吹掃裝置

有效

• 申請號: 201420365542.4
• 申請日: 2014-07-02
• 公開（公告）號: CN203999808U
• 公開（公告）日: 2014-12-10
• 發明（設計）人: 姜再培
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 吳俊

1.一種氮氣吹掃裝置，應用于氣體分灑盤的保養工藝中，其特征在于，所述氮氣吹掃裝置包括一可分離式機體，該可分離式機體包括下部機體和上部機體，所述下部機體與所述上部機體活動連接；

所述下部機體的內壁設置有支撐塊，用于固定所述氣體分灑盤；

所述上部機體的頂部設置有若干開口，且各所述開口均設置有一氣動閥，所述氣動閥連接一氣泵，用于輸送氣體至所述氮氣吹掃裝置；

所述上部機體的內壁之間設置有一可拆卸式氮氣吹掃盤。

2.如權利要求1所述的氮氣吹掃裝置，其特征在于，所述下部機體和上部機體通過合頁活動連接，且所述下部機體和上部機體通過鎖扣進行固定。

3.如權利要求1所述的氮氣吹掃裝置，其特征在于，所述氮氣吹掃裝置還包括一記時器，所述記時器固定設于所述上部機體外壁，通過所述記時器來控制所述氣動閥。

4.如權利要求1所述的氮氣吹掃裝置，其特征在于，所述氮氣吹掃盤均勻設置有若干氣體噴嘴，且各所述氣體噴嘴為可拆卸式氣體噴嘴。

5.如權利要求4所述的氮氣吹掃裝置，其特征在于，所述氣體噴嘴的材質為特氟龍。

6.如權利要求4所述的氮氣吹掃裝置，其特征在于，各所述支撐塊均設置有彈簧，用于固定不同尺寸的氣體分灑盤。

7.如權利要求6所述的氮氣吹掃裝置，其特征在于，所述氣體分灑盤與所述氣體噴嘴之間的距離大于10mm。

8.如權利要求1所述的氮氣吹掃裝置，其特征在于，所述上部機體設置有一把手，所述把手焊接固定在所述上部機體上。

9.如權利要求1所述的氮氣吹掃裝置，其特征在于，所述上部機體和所述下部機體均為不銹鋼材質。