[實用新型]機械手裝置

有效

• 申請號: 201420357984.4
• 申請日: 2014-06-30
• 公開（公告）號: CN203945368U
• 公開（公告）日: 2014-11-19
• 發明（設計）人: 任大清
• 申請（專利權）人: 上海集成電路研發中心有限公司
• 主分類號: B25J9/12
• 分類號: B25J9/12;B25J1/00
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術領域

本實用新型屬于半導體集成電路制造設備領域，涉及一種機械手裝置，具體地涉及一種運送硅片的機械手裝置。

背景技術

機械手是目前在機械人技術領域中得到最廣泛實際應用的自動化機械裝置，在工業制造、醫學治療、娛樂服務、軍事以及太空探索等領域都能見到它的身影。盡管它們的形態各有不同，但它們都有一個共同的特點，就是能夠接受指令，精確地定位到三維(或二維)空間上的某一點進行作業。機械手也廣泛應用于半導體集成電路制造技術領域中，隨著半導體集成電路制造技術的發展，對硅片沾污控制要求也越來越高。

目前現有的機械手裝置一般采用單手機械手裝置，來搬運工藝處理前和工藝處理后的硅片，但單手機械手裝置由于會連續接觸工藝處理前的硅片以及工藝處理后的硅片，往往會通過機械手在搬運過程中形成交叉沾污。如圖1、圖2所示，圖1、圖2為現有機械手裝置的結構示意圖，包括依次連接的底座1、機械臂2、機械腕3以及裝載手4，機械腕3和機械臂2組成可運動關節帶動裝載手4來搬運硅片5?，F有機械手裝置設置單個裝載手4，單個裝載手4通常在搬運過程中易形成交叉沾污。

為避免機械手玷污硅片，硅片的搬運也可采用復雜的多手臂機械手裝置，現有的多手臂機械手裝置包括兩個相互獨立的機械手臂，兩個獨立的機械手臂的端部均連接手爪分別來搬運工藝處理前和工藝處理后的硅片以隔絕沾污傳播。但現有的多手臂機械手裝置通常存在結構復雜、成本高、占地空間大等問題。因此，提供一種機械手裝置，在避免搬運過程中的交叉沾污的同時降低成本成為本領域技術人員亟待解決的問題。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種機械手裝置，避免搬運過程中的交叉沾污的同時簡化結構，降低成本。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種機械手裝置，包括機械手以及驅動裝置，其中，

所述機械手包括底座、機械臂、機械腕以及裝載手；所述底座用于支撐呈線性依次鉸接的機械臂以及機械腕，所述機械腕的端部設有裝載手用于取放硅片；

所述驅動裝置安裝于所述底座內部，用于驅動所述機械手做水平旋轉/伸縮運動；

所述裝載手至少為2只且在水平方向上分別具有預設角度，各裝載手固定連接一轉動軸并繞其豎直軸心線做水平旋轉運動；

裝載手驅動站，設于所述轉動軸的上方或下方，用于驅動所述裝載手旋轉至預設位置；其中，所述裝載手驅動站具有升降軸，可做上下運動，裝載手需交換位置時，所述升降軸向所述轉動軸的方向運動并驅動所述轉動軸旋轉，從而帶動所述裝載手旋轉至預設位置；

位置鎖定裝置，安裝于所述裝載手上，用于鎖定所述裝載手的位置角度。

優選的，所述裝載手驅動站還包括基座、步進電機以及同步齒帶，所述步進電機通過所述同步齒帶驅動所述升降軸做上下運動。

優選的，所述裝載手驅動站還包括基座、擺動氣缸以及同步齒帶，所述擺動氣缸通過所述同步齒帶驅動所述升降軸做上下運動。

優選的，所述轉動軸表面設有一凹槽，所述升降軸上設有與所述凹槽相應的凸臺。

優選的，所述裝載手為多個，且各裝載手在水平方向上均勻分布。

優選的，所述裝載手為2只，且2只裝載手之間保持180°。

優選的，所述機械臂為2節或2節以上且呈線性依次鉸接。

優選的，所述底座為圓柱體，其可繞自身豎直軸心線做旋轉和升降運動。

優選的，所述裝載手上設有圓形真空吸盤用于拾取或釋放目標硅片。

與現有的方案相比，本實用新型提供的機械手裝置設置至少兩只裝載手，通過旋轉裝載手至預設位置，分別搬運工藝處理前和工藝處理后的硅片，可有效隔絕搬運過程中的交叉沾污，降低成本、簡化結構、節約機械手裝置的占地空間。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現有機械手裝置的結構示意圖；

圖2為現有機械手裝置的俯視圖；

圖3為本實用新型機械手裝置的結構示意圖；

圖4為本實用新型機械手裝置的俯視圖；

圖5為本實用新型裝載手驅動站的結構示意圖。

圖中標號說明如下：