[實用新型]曝光機真空密封夾

有效

• 申請號: 201420355409.0
• 申請日: 2014-06-30
• 公開（公告）號: CN203965799U
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發明（設計）人: 連大學
• 申請（專利權）人: 深圳市卓力達電子有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 深圳市千納專利代理有限公司 44218
• 代理人: 黃良寶

技術領域

本實用新型涉及到曝光機真空密封夾技術領域。

背景技術

現有的曝光機真空密封夾的上框架是麥拉膜，夾在上框架的麥拉膜和下框架的玻璃臺面之間的菲林在抽真空吸氣時就會因麥拉膜這種柔性材料的發生形變時偏位，造成品質異常。

發明內容

綜上所述，本實用新型的目的在于解決現有的曝光機真空密封夾的上框架采用麥拉膜存在菲林在抽真空吸氣時發生形變時偏位，造成品質異常的技術不足，而提出曝光機真空密封夾。

為解決本實用新型所提出的技術問題，采用的技術方案為：曝光機真空密封夾，包括有鉸接的上框架和下框架，下框架上設有玻璃臺面，上框架與下框架之間設有密封墊圈和氣彈簧，在下框架上設有抽真空吸氣口；其特征在于：所述的上框架上設有與下框架上的玻璃臺面對應的光學玻璃。

所述的上框架通過與光學玻璃一對側邊配合卡接。

所述的卡接槽與光學玻璃之間設有密封圈或密封膠。

本實用新型的有益效果為：本實用新型把上框架上的麥拉膜換成光學玻璃，這樣在吸氣過程中，真空泵在抽曝光機真空密封夾中的空氣時，玻璃這種剛性材料不會發生形變，不會對菲林造成影響，巧妙的解決了抽真空造成的菲林偏位的問題，提高了產品品質。

附圖說明

圖1為本實用新型的立體結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖和本實用新型優選的具體實施例對本實用新型的結構作進一步說明。

參照圖1中所示，本實用新型包括有鉸接的上框架1和下框架2，下框架2上設有玻璃臺面21，所述的上框架1上設有與下框架2上的玻璃臺面21對應的光學玻璃11；上框架1與下框架2之間設有密封墊圈12和氣彈簧23，在下框架2上設有抽真空吸氣口24。