[實用新型]一種分體式VGF法單晶生長工藝用坩堝托

有效

• 申請號: 201420351891.0
• 申請日: 2014-06-29
• 公開（公告）號: CN203960388U
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發明（設計）人: 徐蘭蘭;張學鋒;王玉辰
• 申請（專利權）人: 大慶佳昌晶能信息材料有限公司
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及VGF法單晶生長工藝用坩堝托技術，具體涉及一種分體式VGF法單晶生長工藝用坩堝托。

背景技術

VGF法單晶生長工藝中，裝有多晶料的安瓿瓶在坩堝托的支撐下固定于爐體中心位置，由于爐體與安瓿瓶沒有相對運動，故必須保持坩堝托主體、安瓿瓶、坩堝、爐體的嚴格對中性；坩堝托主體與安瓿瓶的接觸位置在放肩部分，其對籽晶及放肩部分的溫場影響十分顯著；此外由于晶體生長溫度較高且工藝過程時間長，因而要求坩堝托主體材質高溫性能十分穩定；因而坩堝托主體結構的設計，在VGF法單晶生長工藝中選擇顯得尤為重要，要求坩堝托主體具有較高的熱穩定性，較小的變形。原有的坩堝托主體均為整體式，受熱時內應力會導致坩堝托主體變形，對單晶的質量有很大影響，同時坩堝托主體和安瓿瓶的材質相同，容易粘連，重復使用性幾乎為零。

發明內容

本實用新型針對技術背景中提出的問題，設計一種分體式VGF法單晶生長工藝用坩堝托，該坩堝托主體采用氯化釔穩定氧化鋯材質，高溫性能穩定，和安瓿瓶不產生高溫粘連，且該坩堝托主體打破現有坩堝托主體整體設計的方式，采用將坩堝托主體設計三瓣形式，這種設計減小了坩堝托的熱應力變形，提高了坩堝托的使用壽命，降低了生產成本。

本實用新型的技術方案是：一種分體式VGF法單晶生長工藝用坩堝托包括坩堝托主體，坩堝托主體沿軸向上分成均勻的三瓣，三瓣兒組合成一個圓柱體，相鄰兩瓣之間有間隙，坩堝托主體上部內壁的形狀與坩堝的形狀相吻合，坩堝托主體的下部加工有外錐面，通過外錐面安放在坩堝托主體座的內錐面上，坩堝托主體座的底部加工有外止口，其外止口插入石英管的內孔中定位，石英管的內部充滿保溫棉，石英管外套有氧化鋁管，氧化鋁管的上端面與坩堝托主體底端面的外沿相觸。

本實用新型具有如下有益效果：（1）坩堝托分體式設計，有效的減小了內應力引起的變形、開裂，提高了使用壽命；（2）坩堝托主體底部錐面設計，能夠使坩堝托主體的三瓣結合緊密，同時提高了對中性。（3）重復利用率高，節約生產成本。

附圖說明：

附圖1是本實用新型組裝圖的主視圖；

附圖2是本實用新型組裝圖的俯視圖。

圖中1-坩堝托主體，2-坩堝托主體座，3-氧化鋁管，4-石英管，5-保溫棉。

具體實施方式：

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明：

如圖1和圖2所示，該分體式VGF法單晶生長工藝用坩堝托包括坩堝托主體1，坩堝托主體1被沿軸向加工成了均勻的三瓣，可有效釋放內應力，減少變形及開裂，當三瓣兒組合成一個圓柱體時，相鄰兩瓣之間會有微小的間隙，微小間隙的存在有效的抵消了受熱變形；坩堝托主體1的下部加工有外錐面，通過外錐面安放在坩堝托主體座2的內錐面上，使坩堝托主體各部分進行緊密連接，同時提高對中性；坩堝托主體座2的底部加工有外止口，其外止口插入石英管4的內孔中定位，石英管4的內部充滿保溫棉5，石英管4的外面套有氧化鋁管3，氧化鋁管3的上端面與坩堝托主體1底端面的外沿相觸。氧化鋁管3的上端面輔助支撐坩堝托主體1的下端面上的環狀凸臺，保證了其穩定性。