[實用新型]一種載晶臺體傳動裝置

有效

• 申請號: 201420351366.9
• 申請日: 2014-06-27
• 公開（公告）號: CN203927278U
• 公開（公告）日: 2014-11-05
• 發明（設計）人: 劉川;張所峰;胡婷婷;王勇
• 申請（專利權）人: 丹東通達科技有限公司
• 主分類號: F16M11/04
• 分類號: F16M11/04;G01N23/20
• 代理公司: 沈陽優普達知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 張志偉

1.一種載晶臺體傳動裝置，其特征在于：具有旋轉臺(1)、載晶臺(2)、諧波傳動減速裝置(3)、電機(4)、電機連接架(5)以及底架(19)，其中旋轉臺(1)連接于底架(19)上，旋轉臺(1)的一側安裝有電機連接架(5)，電機連接架(5)中安裝有電機(4)，電機(4)的輸出軸通過諧波傳動減速裝置連接載晶臺保持架(13)，載晶臺保持架(13)上設有載晶臺(2)及晶體位置調整機構。

2.按權利要求1所述的載晶臺體傳動裝置，其特征在于：所述諧波傳動減速裝置(3)、電機(4)及電機連接架(5)整體向旋轉臺(1)外側傾斜；電機(4)的輸出端通過諧波傳動減速裝置(3)安裝有載晶臺保持架(13)，載晶臺保持架(13)向下以一鈍角角度延伸為水平設置的載晶臺(2)。

3.按權利要求1所述的載晶臺體傳動裝置，其特征在于：所述載晶臺(2)下端安裝有旋轉電機(6)，旋轉電機(6)的輸出軸通過晶體位置調整機構連接載晶臺指針(9)。

4.按權利要求1或3所述的載晶臺體傳動裝置，其特征在于：所述晶體位置調整機構包括左右滑動機構(12)、前后滑動機構(11)以及上下調節裝置，其中左右滑動機構(12)通過左右方向設置的第一燕尾槽滑動連接于槽內，左右滑動機構(12)的滑塊上方具有前后方向設置的第二燕尾槽，前后滑動機構(11)與第二燕尾槽滑動連接；前后滑動機構(11)上通過上下調節裝置安裝載晶臺指針(9)。

5.按權利要求4所述的載晶臺體傳動裝置，其特征在于：所述上下調節裝置采用齒輪齒條機構，通過調節桿(7)定位。

6.按權利要求4所述的載晶臺體傳動裝置，其特征在于：還具有用于鎖固載晶臺指針(9)移動位置的第一、二鎖緊銷軸(8、10)。

7.按權利要求1所述的載晶臺體傳動裝置，其特征在于：所述旋轉臺(1)通過連接件安裝于底架(19)上，并通過定心螺釘(17)對調整后的旋轉臺(1)與底架(19)進行定位。

8.按權利要求1所述的載晶臺體傳動裝置，其特征在于：底架(19)內部空間、電機連接架(5)內部空間、電機(4)的內部空間以及載晶臺保持架(13)內部空間形成完全貫通的中空結構(20)，中空結構(20)內部穿置用于連接電機(4)以及旋轉電機(6)的電氣線纜(21)。