[實用新型]可用于ITO靶材燒結的氣氛鐘罩爐

有效

• 申請號: 201420350758.3
• 申請日: 2014-06-27
• 公開（公告）號: CN204268872U
• 公開（公告）日: 2015-04-15
• 發明（設計）人: 歐陽建;張勛郎;卓曉軍;陳立三;趙為上;楊克輝;彭偉;高平立;侯季淹;易煥能;歐旭明
• 申請（專利權）人: 長沙礦冶研究院有限責任公司
• 主分類號: F27B9/04
• 分類號: F27B9/04;F27B9/40;F27B9/30
• 代理公司: 上海金盛協力知識產權代理有限公司 31242
• 代理人: 段迎春

1.一種可用于ITO靶材燒結的氣氛鐘罩爐，包括爐體、爐架、冷卻系統、氣氛控制調節管道系統和溫度控制系統，所述爐體為一安裝于爐架上的中空結構，內部的腔體設置為爐膛，爐體的底部設有作為活動爐門的窯車，且窯車作為活動爐門關閉時能與爐體形成密封連接，所述爐膛的頂部及四周的內壁上設置有高溫耐火材料層，其特征在于：所述爐體的頂部安裝有加熱元件并向下延伸至爐膛內，所述冷卻系統的冷卻風管道穿過爐體底部的側壁并通向爐膛內，所述氣氛控制調節管道系統的通氣管路穿過爐體底部的側壁并通向爐膛內，所述溫度控制系統包括安裝于爐體上的多個測溫熱電偶。

2.根據權利要求1所述的氣氛鐘罩爐，其特征在于：所述窯車裝設于軌道上，且窯車通過一與其連接的升降機構實現其作為活動爐門的啟閉。

3.根據權利要求2所述的氣氛鐘罩爐，其特征在于：所述窯車作為活動爐門關閉時，窯車通過輕質纖維毯密封結合砂封的雙密封模式與爐體形成密封連接。

4.根據權利要求3所述的氣氛鐘罩爐，其特征在于：所述窯車與爐體底部的高溫耐火材料層直接接觸的部分設置有一輕質纖維毯。

5.根據權利要求3所述的氣氛鐘罩爐，其特征在于：所述砂封的密封結構包括設置于窯車周圍邊緣處的砂封槽和設置于爐體底部的雙層砂封刀，所述砂封槽位于輕質纖維毯的外側，所述雙層砂封刀設置于爐體底部的高溫耐火材料層下方，且雙層砂封刀對接插入所述砂封槽實現砂封。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的氣氛鐘罩爐，其特征在于：所述爐體頂部設有穿過爐頂鋼板及爐頂高溫耐火材料層的安裝孔，所述加熱元件為U形硅鉬棒，U形硅鉬棒穿過所述安裝孔豎直向下伸入爐膛內；且加熱元件沿爐膛周圍布置，加熱元件所在的平面與爐膛內壁垂直正交。

7.根據權利要求1～5中任一項所述的氣氛鐘罩爐，其特征在于：所述高溫耐火材料層是由多個耐火材料組塊拼裝而成，各耐火材料組塊之間相互擠壓形成一密封整體；所述耐火材料組塊通過外錨固方式固定在爐體的外鋼殼上。

8.根據權利要求1～5中任一項所述的氣氛鐘罩爐，其特征在于：所述冷卻系統包括一提供冷卻風的離心風機，離心風機進口端配置空氣過濾器，出口端安裝氣控閥門并通過管道連接到一根母管上，母管上均勻開設有多個進氣小管，各進氣小管連接到爐體底部的冷卻風管道。

9.根據權利要求1～5中任一項所述的氣氛鐘罩爐，其特征在于：所述氣氛控制調節管道系統還包括設置在通氣管路上的壓力開關、減壓閥、電磁閥和玻璃轉子流量計；所述爐體的頂部設有排氣孔，所述排氣孔上設有下蓋板，下蓋板上開設有大孔徑通孔；下蓋板的大孔徑通孔上設有上蓋板，上蓋板上設有小孔徑通孔；上蓋板由一驅動裝置驅動其開啟或關閉大孔徑通孔。

10.根據權利要求1～5中任一項所述的氣氛鐘罩爐，其特征在于：所述爐體為矩形柱狀，所述爐體的底部的側壁上開設有連通冷卻風管道和通氣管路的進氣孔，各進氣孔在穿過高溫耐火材料層的部分均埋設陶瓷套管；所述測溫熱電偶在靠近爐體頂部四個角落的位置安裝，并將爐膛劃分為四個加熱區域。