[實用新型]靶材放置貨架

有效

• 申請號: 201420350423.1
• 申請日: 2014-06-26
• 公開（公告）號: CN203921589U
• 公開（公告）日: 2014-11-05
• 發明（設計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;李健成;周偉君
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B65D61/00
• 分類號: B65D61/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 高靜;駱蘇華

技術領域

本實用新型涉及濺射靶材制造領域，尤其是涉及一種靶材放置貨架。

背景技術

液晶顯示器(LCD)以其無輻射、省電、所占空間小等優點逐漸取代傳統CRT顯示器，其已經廣泛應用到生產、生活的各個領域，比如電腦顯示器、筆記本電腦、平板電腦、手機、電視、監控設備、工業控制儀表等。而且據統計顯示，液晶顯示器仍以每年10％以上增長以順應市場需求。

為了滿足發展的需要，LCD的生產技術也進行著日新月異的更新，在短短的數年時間內，LCD已經歷了數代發展。而每一世代LCD的更替，都代表在用于制備LCD的玻璃基板面積的又一次躍進。而基于LCD的玻璃基板面積越來越大，為得到良好的鍍膜品質，對于LCD制備起重要作用的靶材尺寸也隨之增大。

隨著靶材尺寸增大，靶材體積、重量隨之增加，現有靶材的存放往往需要通過鏟車工作完成。然而在靶材存放的實際操作過程中，當將靶材放入貨架，或是由貨架上取出時，靶材極易出現磕碰情況而造成損傷；此外，在靶材存放過程中，基于靶材自身重量增加，靶材會出現形變等缺陷，從而造成靶材變形，進而在使用過程中造成靶材的安裝穩定性差，并且在靶材濺射過程中，形變后的靶材會影響鍍膜的均勻性。

為此，如何提高靶材放置的穩定性，減小靶材形變，以及提高靶材存放的便捷度，以降低靶材在存放過程中出現損傷等缺陷是本領域技術人員亟需解決的問題。

實用新型內容

本實用新型解決的問題是提供一種靶材放置貨架，以提高靶材放置的穩定性，減小靶材形變，并且可提高靶材存放的便捷度，以降低靶材存放過程中出現損傷。

為解決上述問題，本實用新型提供的靶材放置貨架包括：

至少一層靶材擱置層；

所述靶材擱置層包括至少三根位于同一平面的懸臂；

同一靶材擱置層上的各懸臂之間形成間隙，且各相鄰懸臂之間所形成的間隙中，至少兩個間隙具有朝向相同的開口。

可選地，同一靶材擱置層的各懸臂為梳齒狀結構排列。

可選地，同一靶材擱置層懸臂間的間隙寬度相同。

可選地，位于同一靶材擱置層上相鄰兩根懸臂之間的間隙寬度為20～100cm。

可選地，靶材放置貨架包括多層所述靶材擱置層，且在各靶材擱置層下方均形成有空置區域。

可選地，在各擱置層上設有靶材限位組件。

可選地，在所述懸臂的上表面設有耐高溫保護層。

可選地，所述耐高溫保護層為硅膠層。

可選地，同一靶材擱置層上，相距最遠的兩根懸臂之間的距離大于或等于200cm。

可選地，具有朝向相同的開口兩個間隙之間的距離為50～70cm。

與現有技術相比，本實用新型的技術方案具有以下優點：

一層靶材擱置層包括至少三根位于同一平面的懸臂，以用于放置靶材；所述至少三根懸臂設置使得一塊靶材的下方，至少形成三個支撐點，以提高靶材的支撐力度，以及受力均勻度，以降低靶材出現形變概率；而且在一靶材擱置層上的各懸臂之間形成間隙，且各相鄰懸臂之間所形成的間隙中，至少包括兩個同一朝向的開口的間隙，以便于鏟車的鏟齒進入所述靶材的下方，從而提高靶材存放的便捷度。

進一步地，在懸臂的表面形成耐高溫保護層，從而避免靶材放置在懸臂上，以及在存放過程中，靶材磕碰后出現損傷。

附圖說明

圖1為本實用新型靶材放置貨架一實施例的結構示意圖；

圖2為圖1中靶材放置貨架放置靶材后的結構示意圖；

圖3為本實用新型靶材放置貨架另一實施例的結構示意圖；

圖4為本實用新型靶材放置貨架又一實施例的結構示意圖。

具體實施方式

如背景技術所述，諸如LCD液晶制備領域等大面積鍍膜工藝需要，靶材的尺寸不斷增大，而基于靶材尺寸增加后，靶材體積、重量的增加使得靶材在存放時容易出現形變，此外，大尺寸靶材在存放、取出過程中容易出現磕碰等情況而造成靶材損傷。

為此，本實用新型提供了一種靶材放置貨架，包括至少一層靶材擱置層。所述靶材擱置層包括至少三根位于同一平面的懸臂，所述懸臂的延伸方向與各懸臂的排列方向交叉設置，以用于放置靶材。所述至少三根懸臂設置使得一塊靶材的下方，至少形成三個支撐點，以提高靶材的支撐力度，以及受力均勻度，以降低靶材出現形變的概率；而且在一靶材擱置層上的各懸臂之間形成間隙，且各相鄰懸臂之間所形成的間隙中，至少包括兩個同一朝向的開口的間隙，以便于鏟車的鏟齒進入所述靶材的下方，便于靶材存放，降低靶材出現損傷概率。