[實用新型]一種寬光譜光干涉法測量薄膜厚度的系統

有效

• 申請號: 201420343105.2
• 申請日: 2014-06-24
• 公開（公告）號: CN203940836U
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發明（設計）人: 賈傳武;常軍;姜浩;王宗良;王強;田長彬
• 申請（專利權）人: 山東大學
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 濟南金迪知識產權代理有限公司 37219
• 代理人: 許德山

1.一種寬光譜光干涉法測量薄膜厚度的系統，包括ASE光源、波長解調儀、1*2耦合器、計算機、光纖準直器和法珀腔干涉平臺，其特征在于1*2耦合器的1號端口接ASE光源；1*2耦合器的2號端口接波長解調儀，波長解調儀與計算機相連；1*2耦合器的3號端口接光纖準直器，光纖準直器固定在法珀腔干涉平臺上；法珀腔干涉平臺包括反射鏡，防震平臺、兩根支撐桿和兩根固定桿，右支撐桿固定在防震平臺的邊沿上且與防震平臺相垂直，兩根固定桿一端帶有固定夾，另一端帶有套筒，套筒套在右支撐桿上并能沿右支撐桿上下移動，固定桿的套筒上帶有緊固螺絲，通過緊固螺絲能將固定桿固定在右支撐桿上；光纖準直器由上固定桿上的固定夾固定，并由上固定桿將其固定在法珀腔干涉平臺的右支撐桿上，反射鏡由下固定桿上的固定夾固定，并由下固定桿將其固定在法珀腔干涉平臺的右支撐桿上；防震平臺上放置中間有通透圓孔的長方體形的鐵制壓塊，壓塊上的圓孔和其上端固定在兩固定桿上的光纖準直器及反射鏡處于同一垂直線上，壓塊與反射鏡通過一個左支撐桿相連，使得壓塊與左支撐桿和反射鏡能整體垂直移動，反射鏡水平放置。

2.如權利要求1所述的一種寬光譜光干涉法測量薄膜厚度的系統，其特征在于所述的ASE光源為1520-1570nm寬光譜光源，輸出功率為15mw。

3.如權利要求1所述的一種寬光譜光干涉法測量薄膜厚度的系統，其特征在于所述的波長解調儀為Bayspec公司生產的，波長精度為30pm，光譜解調精度為0.1nm。

4.如權利要求1所述的一種寬光譜光干涉法測量薄膜厚度的系統，其特征在于所述的光纖準直器為中心波長為1550nm，工作距離為50mm，最大回波損耗為50db。

5.如權利要求1所述的一種寬光譜光干涉法測量薄膜厚度的系統，其特征在于所述的反射鏡面為全反鏡面。