[實用新型]硅片自動吹片裝置

有效

• 申請號: 201420341641.9
• 申請日: 2014-06-25
• 公開（公告）號: CN204088275U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發明（設計）人: 陳彬;蔣科;李南明;魏秀萍
• 申請（專利權）人: 上饒光電高科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 江西省專利事務所 36100
• 代理人: 楊志宇

技術領域

?本實用新型涉太陽能電池制造領域，特別是涉及一種擴散設備R2D自動倒片機硅片擴散完成后的硅片自動吹片裝置。

背景技術

隨著現代工業的發展，全球能源危機和大氣污染問題日益突出，太陽能作為理想的可再生能源受到了許多國家的重視。由于不可再生能源的減少和環境污染的雙重壓力，使得光伏產業迅猛發展，太陽電池的發展也日新月異。磷擴散是太陽能電池片制作PN結所必須的一道工序，目前這道工序所采用的技術是熱擴散技術。擴散設備R2D自動倒片機硅片擴散完成后，背靠背硅片會吸附在一起，需要人員用氣槍將兩片連在一起的硅片吹散開。生產過程中，操作人員需停機才能進行吹片作業，這樣產能會減小。在手動吹片過程中，人員很難每次都精準地控制氣槍的氣壓及氣流量，不是吹不開就是會造成隱裂片甚至碎片；氣槍本身的氣流集中的特點也會對硅片形成沖擊造成隱裂片及碎片；吹片方法比如吹氣對準硅片的位置也會對吹片效果造成影響。

發明內容

本實用新型的目的是針對上述的不足和缺陷，提供一種硅片自動吹片裝置，能確保設備正常運行，降低碎片率，減小隱裂片，提高產能。

本實用新型通過以下技術方案來實現上述目的：

硅片自動吹片裝置，包括一個支架,支架上部固定連接風管，支架上設置有高度調節螺絲，風管通過氣管與節流閥連接，節流閥通過氣管與電磁閥連接，電磁閥與PLC中央控制單元電連接，真空傳感器和往復傳感器均與PLC中央控制單元電連接。

硅片自動吹片裝置，其中：風管采用均勻分布打孔的不銹鋼管，便于氣流分散，減小對硅片沖擊力。

硅片自動吹片裝置，其中：調節高度調節螺絲可以調節風管位置，適用于不同類型的硅片。?

本實用新型的優點是：增加自動吹片，能夠有效地解決因人員，氣槍，及吹片方法不穩定因素所帶來的問題。確保設備正常運行，減少因人員因素吹片造成的碎片及隱裂片，降低碎片率；避免因氣槍氣壓沖擊對硅片造成的損傷，減少隱裂片；減少生產過程中人員吹片設備的待機時間，提高產能。而且能減少員工工作負擔。

附圖說明

圖1是本實用新型硅片自動吹片裝置的結構示意圖。

附圖標記：支架1、風管2、高度調節螺絲3、節流閥4、電磁閥5、PLC中央控制單元6、真空傳感器7、往復傳感器8、氣管9、氣管10。

具體實施方式

實施例1、硅片自動吹片裝置，包括一個支架1,支架1上部固定連接風管2，支架1上設置有高度調節螺絲3，風管2通過氣管10與節流閥4連接，節流閥4通過氣管9與電磁閥5連接，電磁閥5與PLC中央控制單元6電連接，真空傳感器7和往復傳感器8均與PLC中央控制單元6電連接。

實施例2、硅片自動吹片裝置，其中：風管2采用均勻分布打孔的不銹鋼管，便于氣流分散，減小對硅片沖擊力。

實施例3、硅片自動吹片裝置，其中：調節高度調節螺絲3可以調節風管2位置，適用于不同類型的硅片。

本實用新型硅片自動吹片裝置的工作原理：

真空傳感器7和往復傳感器8收集信號，并把信號傳送到PLC中央控制單元6，PLC中央控制單元6處理信號后發出信號到電磁閥5，進而控制節流閥4，完成吹片作業。