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[實用新型]高純旋轉鉻靶的制作裝置有效

專利信息
申請號: 201420335187.6 申請日: 2014-06-20
公開(公告)號: CN203944839U 公開(公告)日: 2014-11-19
發明(設計)人: 胡習光;秦國強;常金永;張志祥 申請(專利權)人: 江陰恩特萊特鍍膜科技有限公司
主分類號: B22F3/14 分類號: B22F3/14;C23C14/35
代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104 代理人: 殷紅梅;劉海
地址: 214437 江蘇省無錫市江*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 高純 旋轉 制作 裝置
【權利要求書】:

1.一種高純旋轉鉻靶的制作裝置,其特征是:包括外套管(4)和中空的襯管(1),外套管(4)設置在襯管(1)外圍,在外套管(4)和襯管(1)之間形成圓環形空腔(3),該圓環形空腔(3)的上下端分別采用端頭圓環(5)密封,在上部的端頭圓環(5)上設置灌粉管(2),灌粉管(2)與圓環形空腔(3)連通。

2.如權利要求1所述的純旋轉鉻靶的制作裝置,其特征是:所述襯管(1)為中空結構。

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