[實用新型]一種半導體芯片測試探針臺

有效

• 申請號: 201420329686.4
• 申請日: 2014-06-19
• 公開（公告）號: CN203909100U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 高新華
• 申請（專利權）人: 高新華
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 侯蔚寰

1.一種半導體芯片測試探針臺,?它包括探針臺主體（10）、探針和打點器（11）、顯微鏡組件（12），所述探針臺主體包括底座（20）、承片臺（21）、探針和打點器安裝盤（23）、顯微鏡支架（24），移動機構安裝在底座（20）上，其特征在于：所述探針臺主體還包括片臺移動手柄（22）、片臺高度手柄（25）、片臺轉動手輪（26），所述片臺移動手柄（22）安裝于底座（20）右邊上，并與承片臺（21）上的軸承連接，所述片臺高度手柄（25）、片臺轉動手輪（26）設置有底座（20）的左側，所述片臺高度手柄（25）與承片臺（21）的底板連接，通過旋轉片臺高度手柄（25）控制承片臺（21）的升降，所述片臺轉動手輪（26）連接在承片臺（21）的左側軸承上，控制承片臺（21）旋轉。

2.根據權利要求1所述的一種半導體芯片測試探針臺，其特征在于：所述承片臺（21）安裝在底座（20）的中部區域。

3.根據權利要求1所述的一種半導體芯片測試探針臺，其特征在于：所述探針和打點器安裝盤（23）上安裝有探針架和打點器。

4.根據權利要求1所述的一種半導體芯片測試探針臺，其特征在于：所述顯微鏡支架（24）設置在探針臺的頂部，在其上安裝有顯示微鏡，所述顯微鏡支架（24）上設置有兩個鎖緊手柄和一個調節螺釘，用來調節顯微鏡的位置。

5.根據權利要求1所述的一種半導體芯片測試探針臺，其特征在于：所述承片臺（21）頂端一側的端部設有真空接口（27）。

6.根據權利要求1所述的一種半導體芯片測試探針臺，其特征在于：所述顯微鏡組件（12）上設有環形燈。

7.根據權利要求1所述的一種半導體芯片測試探針臺，其特征在于：所述片臺高度手柄（25）、片臺轉動手輪（26）同軸。