[實用新型]一種半導體芯片測試設備

有效

• 申請號: 201420327903.6
• 申請日: 2014-06-19
• 公開（公告）號: CN203909229U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 高新華
• 申請（專利權）人: 高新華
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;B07C5/344
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 侯蔚寰

技術領域

????本實用新型涉半導體芯片領域，具體的說是涉及一種半導體芯片測試設備。

背景技術

????在測試驗證階段，對集成電路的測試驗證是一項復雜繁瑣又極需耐心和細心的工作，需要測試人員利用性能優良的儀器設備對集成電路進行細致嚴謹的測試驗證，只有嚴格的測試驗證才能保證集成電路的質量和生命力。

集成電路的測試，特別是包含高速數字控制、高壓、大電流、多通道輸出和曲線變化快的等離子掃描半導體芯片，半導體芯片測試是一項復雜的工作。

半導體芯片包括電源管腳?(?高壓功率電源管腳?VDH、低壓邏輯電源管腳?VDL)、邏輯控制管腳?(?數據串行輸入管腳?DA、時鐘信號控制管腳?CLK、工作模式信號控制管腳?OC1、OC2)、數據串行輸出管腳?DB?和?96?路功率輸入?/?輸出管腳?DO1-DO96?等管腳。

半導體芯片內部含有?96?位的串行移位器。測試驗證主要集中于半導體芯片的靜態電流測試、工作電流測試、串行移位器功能測試、高壓漏電流測試、輸入高?/?低電壓測試、輸出拉電流測試和輸出灌電流測試等。

現有技術主要是依靠搭線、人工測試等方式來完成，使半導體芯片測試變得更加復雜困難。

對不同功能的各個半導體芯片進行多次通過式測試，一方面測試速度緩慢，測試效率低下，而且涉及到高壓輸出很容易造成半導體芯片損壞；另一方面測試成本將過于昂貴。

實用新型內容

針對上述技術中的不足，本實用新型提供了一種半導體芯片測試設備，該設備解決目前半導體芯片的測試測試速度慢，測試效率低，測試成本高，且容易損壞器件的技術問題。

為解決上述技術問題，本實用新型通過以下方案來實現：

一種半導體芯片測試設備,它包括進料裝置、測試裝置，所述測試裝置設置在進料裝置的左側，所述進料裝置包括進料控制器、連續式螺桿推動裝置、平臺，所述進料控制器分別與所述連續式螺桿推動裝置和所述平臺連接，所述測試裝置包括支架、測試平臺、測試機構、半導體芯片分選機構、分選收料盒、測試分選儀，所述測試平臺設在支架上方，所述測試機構位于所述測試平臺一側，所述測試機構下方正對與所述平臺，所述半導體芯片分選機構位于所述測試機構下方，所述分選收料盒位于所述支架下方，所述測試分選儀位于所述測試裝置左側。

進一步的，所述半導體芯片測試分選裝置還包括罩體和進風機構，所述罩體罩合所述進料裝置及測試裝置，所述進風機構位于所述罩體左側。

進一步的，所述平臺中間設有一進料槽，所述進料槽一端連接在連續式螺桿推動裝置上端輸料口，另一端正對測試機構。

進一步的，所述芯片分選機構包括分選驅動裝置和分選裝置，所述分選驅動裝置一端連接分選裝置。?

進一步的，所述支架為可調試支架。

進一步的，所述分選收料盒分為左右分選收料盒。?

本實用新型的有益效果是：在測試過程中具有測試效率高、耗時短、精度高的優點，同時重復使用率高，具有測試簡單、良品率高的優點，且自動測試不容易損壞器件，大大降低了測試成本。

附圖說明

圖?1?為本實用新型半導體芯片測試設備結構示意圖

圖2為本實用新型半導體芯片測試設備俯視圖。

附圖中標記：進料裝置1；進料控制器11；連續式螺桿推動裝置12；平臺13；進料槽1301；測試裝置2；支架21；可調試支座2101；滑桿?2102；滑槽2103；緊固螺絲?2104；測試平臺22；測試機構23；半導體芯片分選機構?24；分選驅動裝置2401；分選裝置2402；分選收料盒25；測試分選儀26；罩體3；進風機構4。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型作詳細說明。