[實用新型]一體式半自動化掃描探針顯微鏡

有效

• 申請號: 201420318053.3
• 申請日: 2014-06-13
• 公開（公告）號: CN203894253U
• 公開（公告）日: 2014-10-22
• 發明（設計）人: 韓雄;王矛宏;錢鋒;羅力
• 申請（專利權）人: 蘇州飛時曼精密儀器有限公司
• 主分類號: G01Q60/00
• 分類號: G01Q60/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 張建綱

1.一種一體式半自動化掃描探針顯微鏡，包括隔音箱(1)，所述隔音箱(1)內設置有用于放置顯微鏡主體的型腔，其特征在于：所述顯微鏡主體包括設置在所述型腔下方的底座樣品臺(4)，所述底座樣品臺(4)的內部設置有二維移動架(6)和用于放置樣品的掃描器(5)，所述掃描器(5)的上端延伸出所述底座樣品臺(4)的上表面，且所述底座樣品臺(4)的上表面設置有供所述掃描器(5)水平移動的通孔(40)；所述掃描器(5)的上方設置有掃描探頭(8)，所述掃描探頭(8)內設置有激光檢測裝置，所述掃描探頭(8)的下方設有用于將探針定位的探針架(7)，所述掃描探頭(8)固定在用于驅動所述掃描探頭(8)上下運動的探頭升降裝置(9)上，所述探頭升降裝置(9)設置在所述底座樣品臺(4)的一側，所述掃描探頭(8)的上方設置有CCD攝像頭(10)，所述CCD攝像頭(10)固定在CCD升降裝置(12)上。

2.根據權利要求1所述的一體式半自動化掃描探針顯微鏡，其特征在于：所述探頭升降裝置(9)及所述CCD升降裝置(12)均由伺服馬達驅動。

3.根據權利要求2所述的一體式半自動化掃描探針顯微鏡，其特征在于：所述CCD攝像頭(10)上設有用于調整所述CCD攝像頭(10)光學放大倍數的微型伺服馬達。

4.根據權利要求3所述的一體式半自動化掃描探針顯微鏡，其特征在于：所述CCD攝像頭(10)內設置有同軸光源(11)。

5.根據權利要求1-4任一所述的一體式半自動化掃描探針顯微鏡，其特征在于：所述隔音箱(1)的一側設有控制面板(2)，所述控制面板(2)內設有電子學控制系統。

6.根據權利要求5所述的一體式半自動化掃描探針顯微鏡，其特征在于：所述控制面板(2)上設有用于顯示所述CCD攝像頭(10)感應圖像的顯示屏。

7.根據權利要求6所述的一體式半自動化掃描探針顯微鏡，其特征在于：所述隔音箱(1)的下端設有防震裝置。

8.根據權利要求7所述的一體式半自動化掃描探針顯微鏡，其特征在于：所述防震裝置為防震腳墊(3)，所述防震腳墊(3)內設有壓簧和橡膠墊，所述隔音箱(1)的四個角處分別設有一個所述防震腳墊(3)。