[實用新型]液態(tài)氯硅烷在線檢測樣品處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420311984.0
• 申請日: 2014-06-12
• 公開（公告）號: CN203909003U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 童孟;翁博豐;程遠梅;賈哲;宋安寧
• 申請（專利權(quán)）人: 陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司
• 主分類號: G01N30/06
• 分類號: G01N30/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于在線分析領(lǐng)域，具體涉及液態(tài)氯硅烷在線檢測樣品處理裝置。

背景技術(shù)

目前，國內(nèi)對于液態(tài)氯硅烷的檢測均采取離線取樣的方式進行，存在取樣危險性高，物料浪費大，低沸點組份易揮發(fā)，數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性根本得不到保證，特別是二氯二氫硅等低沸點組份含量較高時，易發(fā)生著火，離線無法取樣檢測。

國內(nèi)也有個別廠家采用在線色譜進行分析，采用液態(tài)進樣閥進行進樣檢測，但由于液態(tài)氯硅烷中含有少量的氮氣或氫氣，以氣泡形式存在，造成進樣量偏差較大，檢測結(jié)果重復(fù)性較差，準(zhǔn)確性不高；另由于氯硅烷易水解，過濾器易堵塞，更換頻繁，損耗量大；液態(tài)氯硅烷汽化不充分，存在氣液兩相，影響分析結(jié)果。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供液態(tài)氯硅烷在線檢測樣品處理裝置，能夠長期、連續(xù)、穩(wěn)定運行，確保液態(tài)氯硅烷完全汽化，達到在線分析儀表對樣品的要求，并得到準(zhǔn)確可靠地分析數(shù)據(jù)。

為達到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案如下：

液態(tài)氯硅烷在線檢測樣品處理裝置，包括：

一封閉箱體，

一設(shè)置于封閉箱體外部的取樣裝置，所述取樣裝置一路連接下游物料管線，另一路通過管線連接蒸汽氣化裝置，

一設(shè)置于封閉箱體內(nèi)部的蒸汽氣化裝置，快速回路裝置以及進色譜裝置，

所述蒸汽汽化裝置連接的蒸汽一部分進入蒸汽散熱片對封閉箱體進行加熱，另一部分通過蒸汽汽化減壓閥進入樣品通過路徑上進行加熱汽化；

所述快速回路裝置包括三通過濾器，所述三通過濾器第一端連接蒸汽氣化裝置，三通過濾器第二端連接進色譜裝置，三通過濾器第三端連接氮氣吹掃裝置；

所述進色譜裝置包括標(biāo)氣三通切換閥，所述標(biāo)氣三通切換閥第一端連接快速回路裝置，標(biāo)氣三通切換閥第二端將汽化的樣品送至進入色譜，經(jīng)進樣閥后返回至快速回路裝置；

還包括一氮氣吹掃裝置，該氮氣吹掃裝置設(shè)置于封閉箱體內(nèi)，并與快速回路裝置連接，其始終對快速回路裝置的排放管線進行吹掃，實現(xiàn)對系統(tǒng)的氮氣吹掃和氮氣保護，有效防止由于外部環(huán)境溫度降低以及管道背壓而導(dǎo)致氯硅烷回流。

在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，還包括標(biāo)液裝置，所述標(biāo)液裝置通過管線連接蒸汽汽化減壓閥，并經(jīng)蒸汽汽化減壓閥汽化后實現(xiàn)對色譜標(biāo)液標(biāo)定。

在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，還包括標(biāo)氣裝置，所述標(biāo)氣裝置經(jīng)標(biāo)氣三通切換閥后進入色譜，實現(xiàn)對色譜的標(biāo)氣標(biāo)定。

在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述取樣裝置包括一自清洗式過濾器，一連接自清洗式過濾器第一端的第一兩通球閥，一連接自清洗式過濾器第二端的第一針閥和第一止回閥，以及一連接自清洗式過濾器第三端的第二兩通球閥。

所述第一兩通球閥連接進料口，第一止回閥連接下游物料管線，所述第二兩通球閥通過第一接口連接蒸汽氣化裝置。

在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述蒸汽氣化裝置包括一控制蒸汽流量的第三針閥，一與第三針閥連接的散熱片和蒸汽式汽化減壓閥。

在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述封閉箱體為保溫層厚度為60mm的箱體，且在封閉箱體上設(shè)置一用于觀察封閉箱體溫度的溫度計，第三針閥用于調(diào)節(jié)蒸汽大小，以保證封閉箱體溫度達到要求。

在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，還包括有安全閥以及與安全閥配合使用的廢氣管線裝置，樣品壓力超過安全閥整定壓力時，安全閥起跳，樣品進入廢氣管線裝置處理。

通過上述技術(shù)方案，本實用新型的有益效果是：

1、取樣部分采用過濾精度為0.5μm自清洗式過濾器，通過物料本身對過濾器進行沖刷，保證過濾器連續(xù)、穩(wěn)定運行，極大地降低了過濾器維護頻次；另外，樣品未經(jīng)過污染及減壓操作，直接排入下游物料管線，極大地減少了物料的浪費。

2、蒸汽汽化減壓閥、蒸汽散熱片、保溫厚度為60mm的箱體保證液態(tài)氯硅烷完全汽化。

3、樣品排放管路的氮氣吹掃以及止回閥設(shè)計可以有效防止樣品由于外部環(huán)境溫度降低以及管道背壓而導(dǎo)致樣品回流。

4、安全閥可以確保在系統(tǒng)壓力較大時，能夠及時將樣品排入排放管線，確保裝置穩(wěn)定、安全運行。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式