[實用新型]一種提高多晶硅料酸液利用率的裝置

有效

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• 申請日: 2014-06-12
• 公開（公告）號: CN203904001U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發(fā)明（設計）人: 王曉衛(wèi);王艷;王相君;周阿龍;王會娟;段萌
• 申請（專利權）人: 陜西天宏硅材料有限責任公司
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于硅材料清洗領域，具體涉及一種提高多晶硅料酸液利用率的裝置。

背景技術

目前一般混合酸腐蝕采用的是定量混合酸腐蝕定量的硅料，這種清洗方式在很大程度上造成酸液的浪費。在混合酸腐蝕硅料的反應中自身發(fā)熱會加快硝酸的分解，造成不能充分利用所配酸液。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種提高多晶硅料酸液利用率的裝置，當定量的酸液在腐蝕完一定量的硅料后，再按照一定的酸液比例對混合酸進行滴定，對消耗的酸液進行補充，就能夠很大程度延長混合酸的使用壽命，盡量減少浪費，最大程度上對酸液進行利用，從而降低生產成本。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案如下：

一種提高多晶硅料酸液利用率的裝置，包括：

一酸槽，用于對放置的多晶硅料進行酸液清洗，

一酸副槽，用于存儲混合酸，該混合酸為氫氟酸和硝酸的混合物，

一循環(huán)管道，將所述酸槽和酸副槽連通，

以及一氫氟酸存儲罐和一硝酸存儲罐，所述氫氟酸存儲罐和硝酸存儲罐分別通過滴定管連接酸副槽，在該滴定管上設置有滴定閥。

在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述酸副槽內設置有毛細管，毛細管的一端連接有冷卻水進口，毛細管的另一端連接有冷卻水出口。

在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述冷卻水進口處和冷卻水出口處均設置有控制閥，且在冷卻水出口處設置有流量計。

在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述酸槽和所述酸副槽上還設置有溫度計和液位計。

通過上述技術方案，本實用新型的有益效果是：

本實用新型能夠更大程度利用酸液，降低酸液單耗，可以解決硅料在混合酸中腐蝕時酸液壽命短，表面清洗不干凈等問題，提高工作效率，降低生產成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型實現的技術手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。

參照圖1，一種提高多晶硅料酸液利用率的裝置，包括：

一酸槽100，用于對放置的多晶硅料進行酸液清洗，

一酸副槽200，用于存儲混合酸，該混合酸為氫氟酸和硝酸的混合物，

一循環(huán)管道300，將所述酸槽和酸副槽連通，其中循環(huán)管道300上安裝有循環(huán)泵310，用于將酸副槽調節(jié)完畢的混合酸送至酸槽；酸槽100和酸副槽200上還設置有溫度計110和液位計120；

以及一氫氟酸存儲罐400和一硝酸存儲罐500，所述氫氟酸存儲罐400和硝酸存儲罐500分別通過滴定管600連接酸副槽，在該滴定管上設置有滴定閥610。

其中酸副槽內設置有PFA毛細管700，PFA毛細管700的一端連接有冷卻水進口710，毛細管的另一端連接有冷卻水出口720；冷卻水進口處和冷卻水出口處均設置有控制閥730，且在冷卻水出口處設置有流量計740。PFA毛細管700內通入冷卻水，能夠降低酸副槽200內的溫度，防止酸液揮發(fā)。

酸液清洗一定量硅料后，酸性減弱物料清洗效果降低，可利用存儲罐內酸進行氫氟酸和硝酸滴定。

可靈活設置滴定方式，首先設置滴定間隔籃數，再分別對氫氟酸和硝酸滴定量進行設置。不同物料的滴定設置需進行多次生產試驗，根據酸液消耗、比例、物料表面特征、清洗效果等進行多次測試，尋找最佳的滴定方案。

此處以前期生產試驗進行舉例，采用相同配比的新混合酸210L，清洗同批次物料，不滴定時可清洗75籃(25kg/籃)；當清洗至50籃時增加滴定，設置每清洗1籃硅料進行滴定氫氟酸:300ml,硝酸:200ml,混合酸壽命可延長至清洗硅料150籃，降低了酸液消耗的同時也節(jié)省了換酸時間，提高了生產效率。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。