[實用新型]一種制備高純氣體的三塔純化及再生裝置有效
| 申請號： | 201420310382.3 | 申請日： | 2014-06-11 |
| 公開（公告）號： | CN203899428U | 公開（公告）日： | 2014-10-29 |
| 發明（設計）人： | 李為;方正興;郭銀明;張杰;田庚;李元豐 | 申請（專利權）人： | 陜西天宏硅材料有限責任公司 |
| 主分類號： | B01D53/74 | 分類號： | B01D53/74 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 712038 陜西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制備 高純 氣體 純化 再生 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種制備高純氣體的三塔純化及再生裝置，其特征在于，包括：
至少三組相同結構的反應塔循環裝置，所述反應塔循環裝置包括依次連通的氣液分離器，冷凝器，以及反應塔，所述氣液分離器連接有進氣三通閥，所述反應塔連接有出氣三通閥，
所述進氣三通閥的其余兩個端口分別連接有原料氣體管道和再生半成品氣體管道；
所述出氣三通閥的其余兩個端口分別連接有再生成品氣體管道和成品氣體管道。
2.根據權利要求1所述的一種制備高純氣體的三塔純化及再生裝置，其特征在于，還包括一安裝于成品氣體管道上的氣動調節閥，和一安裝于再生成品氣體管道的流量計，所述流量計與氣動調節閥聯動，實現再生流量的控制。
3.根據權利要求1所述的一種制備高純氣體的三塔純化及再生裝置，其特征在于，所述再生半成品氣體管上安裝一露點分析儀，用于實時測量再生半成品氣體管內的氣體露點數據。
4.根據權利要求1所述的一種制備高純氣體的三塔純化及再生裝置，其特征在于，所述反應塔包括一塔體，一設置于塔體內部的電加熱器，所述塔體的進出口管道上設置有三通球閥。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于陜西天宏硅材料有限責任公司，未經陜西天宏硅材料有限責任公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201420310382.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種基于人體感知的智能解說裝置
- 下一篇：連續式氫氣干燥裝置
